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二次配工程规范
中緯積體電路(寧波)新建工程
氣體管線二次配工程規範
CONTENTS PAGES
TOC \o 1-1 1. 目的 PAGEREF _To\h 3
2. 範圍 PAGEREF _To\h 3
3. 文件送審 PAGEREF _To\h 4
4. 施工說明 PAGEREF _To\h 4
5. 其他說明 PAGEREF _To\h 9
6. 驗收標準 PAGEREF _To\h 10
7. 保固期限 PAGEREF _To\h 12
目的
為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉,且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。
範圍
製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝;Hook-up範圍,GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管),PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB),其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP),其中必要的管線、管件及焊接所需氣體,均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量,請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211);各VMB/VMP位置,請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212);氣體站至FAB間氣體管線,請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234);GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件,請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231);而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料,請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料,設計至機台管線之路徑。
前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面,需依照機台用量流程圖(PID)及機台設備外觀圖繪製,並配合材料明細表供業主確認。
本項工程為連工帶料施工,並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等,均由承包商負責。
配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。
所有管路標示,管路標示依照”二次配工程說明”辦理。
所有管路防震固定支撐架之安裝定位。
高架地板開孔及收邊之工程發包、請款,切割區域管理。
氣體站至FAB間管線所需管橋由業主提供,承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑,並負責安裝所需管夾等固定裝置。
文件送審
文件名稱
投標階段
(3份)
設計階段
(5份)
竣工階段
(5份)
AUTONUMOUT
報價表(Quotation form)
X
AUTONUMOUT
專案組織表(Project organization)
X
X
AUTONUMOUT
專案執行時程表(Project schedule)
X
X
AUTONUMOUT
工程界面清單及位置圖(List location of tie-in point)
X
X
X
AUTONUMOUT
系統管儀圖(PIDs)
X
X
X
AUTONUMOUT
焊接設備清單(Equipment list)
X
X
X
AUTONUMOUT
設備及材料型錄及資料(Vendor’s catalogs and information to support his quotation, including electrical system I/C system)
X
X
X
AUTONUMOUT
儀表安裝詳圖(Instrument installation drawing)
X
X
AUTONUMOUT
送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule)
X
AUTONUMOUT
品質管制程序書(Quality control procedure)
X
AUTONUMOUT
工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements)
X
AUTONUMOUT
驗收及測試計劃/報告(Inspection
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