二次配工程规范.doc

中緯積體電路(寧波)新建工程 氣體管線二次配工程規範 CONTENTS PAGES TOC \o 1-1 1. 目的 PAGEREF _To\h 3 2. 範圍 PAGEREF _To\h 3 3. 文件送審 PAGEREF _To\h 4 4. 施工說明 PAGEREF _To\h 4 5. 其他說明 PAGEREF _To\h 9 6. 驗收標準 PAGEREF _To\h 10 7. 保固期限 PAGEREF _To\h 12 目的 為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。 範圍 製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。 前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機台用量流程圖(PID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。 本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。 配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。 所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。 氣體站至FAB間管線所需管橋由業主提供，承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。 文件送審 文件名稱 投標階段 (3份) 設計階段 (5份) 竣工階段 (5份) AUTONUMOUT 報價表(Quotation form) X AUTONUMOUT 專案組織表(Project organization) X X AUTONUMOUT 專案執行時程表(Project schedule) X X AUTONUMOUT 工程界面清單及位置圖(List location of tie-in point) X X X AUTONUMOUT 系統管儀圖(PIDs) X X X AUTONUMOUT 焊接設備清單(Equipment list) X X X AUTONUMOUT 設備及材料型錄及資料(Vendor’s catalogs and information to support his quotation， including electrical system I/C system) X X X AUTONUMOUT 儀表安裝詳圖(Instrument installation drawing) X X AUTONUMOUT 送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule) X AUTONUMOUT 品質管制程序書(Quality control procedure) X AUTONUMOUT 工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements) X AUTONUMOUT 驗收及測試計劃/報告(Inspection