多层光学薄膜的实验制备及其光学特性研究-光学专业论文.docxVIP

西安建筑科技大学硕士学位论文 西安建筑科技大学硕士学位论文 多层光学薄膜的实验制备及其光学特性研究 专 业：光 学 硕 士 生：何世昆 指导教师：梁 良 教授 摘 要 多层光学薄膜具有较好的耐磨性及耐蚀性，当各分膜的厚度为纳米数量级时， 多层膜在力学、电学、磁学、光学等方面表现出奇特的性质。在种类众多的多层 光学薄膜中，氧化物透明薄膜具有宽的禁带，在紫外区的截止，以及在可见光区 具有很高的透射率等优点，因而在新型的光学薄膜材料的研究中占有重要的地位。 本文中针对含有缺陷层的一维三元光子晶体的带结构进行了研究。特别是当 缺陷层为增益介质时，若选择厚度以及复折射率 n = n+ik 合适的增益介质，在透射 谱中将会在红外区的一个透射带边波长处出现光的最大放大。 本文利用溶胶—凝胶法制备了 ZnO 薄膜。通过对 ZnO 薄膜 XRD 衍射图的研 究，发现实验中制备的 ZnO 膜是一种具有单晶结构的薄膜。测量了并且得到了不 同厚度的 ZnO 膜的光学常数，发现单晶结构的 ZnO 膜与六角纤锌矿结构的 ZnO 膜的消光系数几乎相同。 利用溶胶—凝胶法制备了(TiO2/SiO2)n 以及含 ZnO 缺陷层的(TiO2/SiO2)n/ZnO/ (SiO2/TiO2)n 多层光学薄膜；研究了上述两种结构的多层光学薄膜的光学透射及吸 收特性，以及它们的禁带结构。 在理论方面，为了解决多层光学薄膜中各膜层厚度不均的问题，首次在传输 矩阵理论中引入了随机函数，这样可以在理论上真实的反映出实验上制备时的膜 厚的变化。通过计算结果与实验结果的对比，发现在引入随机变量后，理论结果 与实验测量结果能够很好的符合。 关键词：多层光学薄膜，溶胶—凝胶，缺陷，传输矩阵，禁带结构，随机变量 西安建筑科技大学硕士学位论文 西安建筑科技大学硕士学位论文 西安建筑科技大学硕士学位论文 西安建筑科技大学硕士学位论文 Experimental Preparation and Optical Properties of Multilayer Optical Film Specialty：Optics Name：He Shi Kun Instructor：Professor Liang Liang ABSTRACT The multilayer optical film has good wear resistance and corrosion resistan- ce, when the film thickness of each sub-nanometer scale, multi-layer film in the mechanical, electrical, magnetic, optical, etc., show the peculiar nature. In a wide variety of multi-layer optical film, the oxide transparent film has a wide band g- ap, the cut-off in the ultraviolet region, as well as in the visible region has a h- igh transmission rate of these advantages, and thus occupies a new type of opti- cal thin film materials important position. This article contains a defect layer with one-dimensional ternary photonic crystal structure. In particular, maximum magnification of the defect layer as the gain medium, if you choose the right thickness and complex refractive index of the gain medium, will be in the transmission spectrum in the infrared region, a transmission band edge wavelength of light. In this article using sol-gel prepare- d ZnO thin films. XRD diffraction patterns of ZnO thin films and found that th- e exper