多电流路径平面螺旋电感及集成LC滤波器的研制-电子科学与技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 DESIGN OF SPIRAL INDUCTOR WITH MULTI-CURRENT-PATH STRUCTURE AND DESIGN OF INTERGRATED-LC-FILTER A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Electronic Science and technology Author: Li Sizhong Advisor: A.P. Zhang Jihua School : Microelectronics and solid state electronics 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究 工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢 的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也 不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用 过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论 文中作了明确的说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论 文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和 磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位 论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、 缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘 要 LC 滤波器是一种历史悠久，应用广泛的滤波器，其优点是结构简单、设计的 理论完整，同时也是设计其他类型滤波器的基础。为了实现 LC 滤波器集成化、单 片化，可以利用平面螺旋电感、MIM 结构薄膜电容为基本元件，制备集成 LC 带 通滤波器。 本文主要研究内容如下： 1、设计并制作了多电流路径结构平面螺旋电感：将传统平面螺旋电感器中单 股宽导线分成多条细导线并联以构成多电流路径的结构，降低电感了的高频损耗， 提高品质因数（Q 值），并通过 HFSS 电磁仿真软件对该螺旋电感进行了设计与优 化。测试结果表明，采用多电流路径的结构，可以使相同尺寸的平面螺旋电感的 Q 值提高 80%以上，这为高 Q 值小型平面螺旋电感的研制提供了思路。 2、总结了 LC 滤波器的设计方法及调试方法，设计了集成 LC 带通滤波器。 重点根据集成 LC 滤波器的分布参数，将分布参数以电感电容元件的形式引入滤波 器的设计过程中，并结合 ADS 及 HFSS 三维仿真软件，制定了一套切实可行的设 计方法，使集成 LC 滤波器的理论设计结果与三维仿真结果具有了一致性。 3、研究了集成 LC 滤波器的制作工艺，并针对滤波器图形化过程中侧腐蚀、 电极加厚等问题制定了解决方案，最终制备了多电流路径平面螺旋电感及集成 LC 滤波器样品。 4、探索了滤波器样品的测试方法，利用矢量网络分析仪对平面螺旋电感和集 成 LC 滤波器进行了测试，测试结果表明，通过带胶电镀加厚的方法获得的器件比 直接电镀刻蚀加厚的器件有着更好的性能，并验证了集成 LC 滤波器的可行性。 关键词：集成 LC 滤波器，平面螺旋电感，品质因数，多电流路径结构 I Abstract Abstract LC filter is a filter with long history and wide range of application, which has a simple structure, and with a complete-design-theory, and also could be the base-design for other filters. In order to achieve the LC filter’s Integrated, planar spiral inductors and MIM-structure capacitance can be utilized in preparing the integrated LC filter. The main results are as follows: The Multi-current-path structure of the plan spiral inductor was configured by dividing the single-wide-track into multi-trickle-tracks, which could reduce the loss of the inductor on hi