超声集聚微纳米物质的压电器件结构设计和原理分析-机械设计及理论专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Nanjing University of Aeronautics and Astronautics The Graduate School College of Aerospace Engineering Device Structure Design and Principle Analysis for Concentrating the Micro/nano Material A Thesis in Mechanical Design and Theory by Yang Bujiang Advised by Prof. Hu Junhui Submitted in Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of Master of Engineering March, 2014 万方数据 万方数据 承诺书 本人声明所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进 行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致 谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成 果，也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位 或证书而使用过的材料。 本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 作者签名： 日 期： 南京航 南京航空航天大学硕士学位论文 集聚微 集聚微纳米物质的器件结构设计和原理分析 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 摘要 压电换能器是一种依靠压电材料的正、逆压电效应来实现电能与机械能之间互相转换的器 件。压电换能器为超声技术应用的主要工具，其种类多且用途非常广泛，其中在微纳米物质操 纵上的应用前景非常广阔。本课题研究均直型超声针换能器工作时利用声学流驱动微纳米物质 在针身反节点或者整个针身下面的硅基板上集聚的特性，主要研究内容如下： 介绍了操纵微纳米物质现有的各种方法及各自的优缺点，详细的介绍了超声操纵微纳米物 质目前的研究现状、压电驱动技术，并且阐述了本研究课题的目的、范围以及课题意义。 通过实验与理论相互验证的方法，研究了均直型超声针换能器驱动微纳米物质集聚的特性 与机理。超声针在高频振动下集聚微纳米物质，其工作在弯曲模态。此时针身反节点两边会形 成对称的声学流，从而驱动微纳米物质跟随声学流到针身反节点下基板上成线性非连续斑点集 聚。 研究了当在成斑点集聚的实验操作基础上再增加在针身轴向上的均匀往复运动，从而实现 微纳米物质在整个针身下集聚成线连续集聚。 研究了声学流产生的原因，并利用有限元软件 COMSOL 计算仿真了针身反节点周围的声学流 图案，其与实验中观察得到的声学流图案是一致的。同时对靠近基板的声学流集聚微纳米物质 作了力学分析，估算出基板上单个酵母菌所受驱动力的数量级为。 关键词：超声换能器、反节点、微纳米物质、声学流、线性集聚 本篇硕士论文在机械结构力学及控制国家重点实验室（南航）完成 本课题得到了国家自然科学基金资助项目（Nos.an以及江苏高层次 人才双创计划资金资助 i Abstract Piezoelectric transducer is one kind of actuators which relies the piezoelectric effect of piezoelectric materials to achieve mutual conversion between electric power and mechanical energy. Piezoelectric transducer is the main method in ultrasonic technology, which has great varieties, extensive application. For example it has broad scenarios in the manipulations of micro/nano material. The project research on the concentration of micro/nano material in a film of aqueous suspension on a stationary substrate (not in vibration), which employs the acoustic streaming generated by an ultrasonically vibrating needle parallel to and above the