多模光纤和蓝宝石光纤珐珀传感器研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘 要 摘 要 新兴的光纤传感器代表了新一代传感器发展的趋势，具有结构简单、体积小、 重量轻、不受电磁干扰、稳定性好、精度高、便于组网等显著优点，被广泛应用 到能源、交通、建筑、医学、航空航天等工业和军事领域。光纤传感器产业已被 国内外公认为最有前途的高科技产业之一，它以科技含量高、经济效益好、渗透 能力强、广阔的市场前景等特点而倍受世人瞩目。随着中国经济的快速发展和物 联网发展战略的推进，中国光纤传感器的研究和产业化也面临着巨大的机遇和挑 战。光纤法布里-珀罗传感器是光纤传感器的一个重要分支，其解调主要采用强度 解调法和相位解调法。传统的单波长强度解调法因为存在容易受光源光强波动、 光路扰动、光纤传输损耗变化、电参数漂移等因数影响的问题，使得它在实际工 程中应用较少，一般只在实验室中作一些研究之类的尝试。因此，改进和完善光 纤法-珀传感器的制作和解调方法具有深刻的理论和现实意义。本论文基于这个出 发点，完成了系列工作，总结如下： （1）参考大量文献、专利对光纤传感器国内外研究现状和发展趋势进行了分 析，为光纤传感器的研究和产业化提供一定的参考。同时总结了目前光纤传感器 的各种结构，制作方法，解调方法，并分析比较了各自的优缺点。 （2）提出了使用 157nm 激光微加工制作的多模光纤珐珀传感器和纯石英光纤 珐珀传感器，并对多模光纤珐珀传感器进行了温度和应变测试，实验表明该传感 器具有优良的温度和和应变特性，同时对纯石英光纤珐珀传感器进行了 1000℃的 高温测试，实验表明这套系统能够满足在 1000℃以内的温度高温环境下的传感测 量。 （3）研究了使用 157nm 激光微加工制作的蓝宝石光纤珐珀高温和压力传感 器。利用蓝宝石耐高温的特性，研制出一套能够工作在 1100℃甚至更高环境中的 光纤温度传感系统；进一步研究利用蓝宝石光纤制作压力传感器，从而为在高温 高压的恶劣环境进行传感提供了一条有效的途径。 关键词：光纤珐珀传感器，激光微加工，高温传感器，压力传感器 I Abstract Abstract The emerging fiber-optic sensors represent a development trend of new generation sensor, with many advantages, such as simple structure, small size, light weight, free from electromagnetic interference, good stability, high accuracy, easy networking and so on, has been widely applied to industrial and military fields including energy, transportation, architecture, medicine, aerospace etc. Fiber optic sensor industry has been recognized as the most promising one of high-tech industry at home and abroad, and attracted worldwide attention due to its high content of science and technology, good economic returns, penetration ability, and broad market prospects etc. With Chinas rapid economic development and advancement of the internet of t