掺杂对金属氧化物气敏传感器气敏性能的影响-材料学专业论文.docxVIP

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掺杂对金属氧化物气敏传感器气敏性能的影响-材料学专业论文

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□, 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 金属氧化物气敏传感器作为一种典型的半导体气敏传感器,因其具有高敏感、快 速响应、成本低和检测方便等优点,在目前气敏传感器的研究和应用中占据主导地 位。但是,随着社会的发展,人们对气体检测的要求越来越高。为了进一步提高气 敏传感器的气敏性能,掺杂是一种非常重要和有效的手段。因此,研究掺杂对金属 氧化物气敏传感器气敏性能的影响就显得十分有必要了。 本文先利用丝网印刷技术制备出 WO3 气敏膜,再利用微滴注的方法在 WO3 气敏 膜中掺入 Pd。通过控制 PdCl2 溶液的浓度来实现对气敏膜中的掺 Pd 量进行精确调控。 研究表明,与未经过微滴注掺 Pd 处理的气敏膜相比,经过微滴注掺 Pd 处理的气敏 膜对甲苯具有更高敏感性,更好的选择性和更低的工作温度。其中,掺 Pd 量为 10-9mol 的气敏膜(滴注体积为 0.1μL,浓度为 0.1mol/L 的 PdCl2 溶液)对甲苯的气敏性能 最好。另外,在敏感性方面,气敏膜中的最佳掺 Pd 量随着气体种类改变而变化。 采用不同的掺杂工艺制备出 Pd-WO3 气敏材料。通过测试其对 ppb 级 NO2 的气敏 性能发现:与 WO3 气敏传感器相比,Pd 的掺入不但显著提高了对 NO2 的敏感性, 还大大加快了气敏响应速率。共溶液和浸泡这两种掺杂工艺相比较,采用第一种掺 杂工艺制备出的 Pd-WO3(Ⅰ)气敏传感器具有更高和更快的气敏响应。在工作温度为 100℃情况下,Pd-WO3(Ⅰ)气敏传感器对 50ppb 和 500ppb 的 NO2 的气敏响应值分别 达到了 7.17 和 198.82。总之,利用丝网印刷技术制备出 Pd-WO3(Ⅰ)气敏传感器非常 适合在低温下对低浓度的 NO2 进行检测。 通过在 ZnO 粉体中掺入 SiO2 纳米颗粒制备出气敏材料,并制备成气敏传感器, 测试其对甲醇和乙醇的气敏性能。结果表明,SiO2 纳米颗粒的掺入,显著抑制了 ZnO 晶粒的长大。当工作温度为 200-350℃之间时,SiO2 纳米颗粒的掺入导致敏感度降低; 当工作温度为 400-450℃时,SiO2 纳米颗粒的掺入反而显著地提高了气敏传感器的敏 感度。还有,SiO2 的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。 关键词:气敏传感器,丝网印刷,三氧化钨,氧化锌,掺杂,气敏性能 II II Abstract As the typical semiconductor gas sensor, the metal oxide semiconductor is dominant in the research and applications for its high sensitivity, fast response, low cost, convenient in detection and so on. However, along with the social development, people have an increasing demand for gas detection. As we know, doping with extrinsic dopants is an important and effective way to improve gas-sensing performance toward the target gases. So, it is necessary to study the influence of doping on gas sensing properties of metal oxide gas sensor. In this paper, WO3 thick

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