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超支化聚酯微光学光致抗蚀剂-应用化学.PDF
23 7 Vo.l 23 No. 7
2006 7 CH INESE JOURNAL OF APPLIED CHEM ISTRY Jul 2006
a b b * c
冯宗财 赵 凌 王跃川 杜春雷
a b
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)。
1. 2
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[4]
, 200 μm ×200 μm
。
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, Schem e 1 Ideal structure of h perb ranched pol ester
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