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超支化聚酯微光学光致抗蚀剂-应用化学.PDF

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超支化聚酯微光学光致抗蚀剂-应用化学.PDF

23 7 Vo.l 23 No. 7 2006 7    CH INESE JOURNAL OF APPLIED CHEM ISTRY    Jul 2006 a b b * c 冯宗财  赵 凌  王跃川  杜春雷 a b (  ;  6 10065; c )   — COOH、—OH 、 。 HB ~H 。 UV - 3 2 (TMAH )E 5.5×10 J /cm γ 8 。 0 γ。。 , 。, 200 μm×200 μm 。  , , :O641     :A     :1000-0518(2006)07-0762-04 、 [1] 。。 [2] (MEM S), , , ,M EM S、。 , 。 。 1  1. 1  [3] , ;(TPGDA ),, UCB Chem icals; (TM PTA ), , UCB Chem icals);(Irgacure65 1), ( Ciba);,(TMAH )。 ( ), 50 cm, 300 W;A lpha-S tep500 ( Tencor);KW-4A ( );N icolet 560(N icolet )。 1. 2  40 mm ×40 mm ×3 mm , 500 r /m in 6 s、1 000 r /min 10 s, 80 ℃ 30 min。 1. 3 -- , 1 000 W , 50 cm ( 2.0 × - 2 2 10 J /cm ), 25 ℃, 3%N a CO 1% 3 m in, , 2 3 ,-。, X E , E ,E 、E 0 t 0 t 2005-07-24, 2006-01-24 :, , 1958, , ;E-mai:l w ang c@scu. edu. cn;:   7 : 763 - 1 γ=[log E E/ ] 。 3。 t 0 ( 30 s, 30 s 300 s),, -。 1. 4  [4] , 200 μm ×200 μm 。 2  2. 1  Scheme 1, —COOH —OH 。 70 ~90 mg KOH /g, 10%~15%。 2. 2  、 、15% Irgacure 651, 80 ℃ 30 m in, HB ~H。1 000 W UV - 2 2 10 cm (2.0×10 J /cm ) UV , Schem e 1 Ideal structure of h perb ranched pol ester 。 2 con tain ing acid

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