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大口径光学元件检测中的主要误差及其影响Ξ-强激光与粒子束.PDF
第 13 卷 第 2 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 13, . 2
V o l N o
2001 年 3 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S M ar. , 2001
( )
文章编号: 1001- 4322 2001 02- 0133- 04
大口径光学元件检测中的主要误差及其影响
1 2 2 1
张蓉竹 , 许 乔 , 顾元元 , 蔡邦维
( 1. 四川大学 光电系, 四川 成都610064; 2. 成都精密光学工程研究中心, 四川 成都610041)
摘 要: 使用 PSD 作为大口径光学元件的质量评价标准, 为保证检测系统的精度, 标定
了作为测试系统的大口径相移干涉仪的系统传递函数, 并讨论了在对 ICF 驱动器中所使用的
光学元件进行检测时产生的两种主要误差, 即: 由于放置倾斜导致的低频误差和由干涉条纹引
入的高频误差。同时还分析了这些误差在进行计算和分析时可能造成的影响以及消除的方法。
关键词: 大口径光学元件; 传递函数; 误差; PSD
中图分类号: O 437 文献标识码:A
由于 PSD (Pow er Spectral D en sity) 具有很强的频谱描述功能被认为是一种非常适合于大口径元
件使用的评价标准[ 1, 2 ] , 在实际检测工作中, 为保证测量的精度, 必须对所使用的干涉仪的传递函数进行
标定, 这样才可能避免由仪器本身或由检测过程所带来的影响, 而得到真实的检测结果。在进行传递函
数标定时, 一般采用相位比较法, 为此我们设计了高精度台阶位相板, 并得到了标定结果。由于测量过程
中会出现各种误差, 如倾斜导致的低频误差、干涉条纹导致的误差等等, 本文针对在大口径光学元件检
测过程中的这些误差及其影响作了较为深入和仔细的讨论。
1 PSD 的计算
根据定义可知, 可由如下公式计算被检光学元件的 值 ( ) [ 3 ]
PSD P f
N - 1
x - i2f nx 2
( ) ( ) ( )
P f = z n e 1
N ∑
n= 0
式中z (n ) 是所测得的元件的空间位相值;N 是总采样点数; x
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