智能传感器1.ppt

第六章 智能传感器 一、定义 智能传感器【intelligent sensor】具有信息处理功能的传感器。智能传感器带有微处理机，具有采集、处理、交换信息的能力，是传感器集成化与微处理机相结合的产物。 二、实现的功能 1. 复合敏感功能 周围的自然现象，常见的信号有声、光、电、热、力、化学等。智能传感器具有复合功能，能够同时测量多种物理量和化学量，给出能够较全面反映物质运动规律的信息。 美国加利弗尼亚大学研制的复合液体传感器，可同时测量介质的温度、流速、压力和密度。美国EGG IC Sensors公司研制的复合力学传感器，可同时测量物体某一点的三维振动加速度、速度、位移，等等。 3. 自检、自校、自诊断功能 普通传感器需要定期检验和标定，以保证它在正常使用时足够的准确度， 常规传感器--从使用现场拆卸送到实验室或检验部门进行。对于在线测量传感器出现异常则不能及时诊断。 智能传感器--首先自诊断功能在电源接通时进行自检，诊断测试以确定组件有无故障。其次根据使用时间可以在线进行校正，微处理器利用存在EPROM内的计量特性数据进行对比校对。 4. 信息存储和传输 智能集散控制系统(Smart Distributed System)的飞速发展，对智能单元要求具备通信功能，用通信网络以数字形式进行双向通信，这也是智能传感器关键标志之一。 智能传感器通过测试数据传输或接收指令来实现各项功能。如增益的设置、补偿参数的设置、内检参数设置、测试数据输出等。 三、智能传感器的发展 1、最初是由美国宇航局1978年在开发出来的产品。宇宙飞船上需要大量的传感器不断向地面发送温度、位置、速度和姿态等数据信息，用一台大型计算机很难同时处理如此庞杂的数据，于是提出把CPU分散化，从而产生出智能化传感器。 四、智能传感器的特点 2. 结构一体化压阻式压力(差)传感器是最早实现一体化结构的. 传统在金属杯的圆膜片上粘贴电阻变换器(应变片)而构成压力(差)传感器,这就不可避免地存在蠕变,迟滞,非线性特性. 采用微机械加工和集成化工艺, 不仅硅杯一次整体成型,而且电阻变换器与硅杯是完全一体化的.进而可在硅杯非受力区制作调理电路,微处理器单元,甚至微执行器, 从而实现不同程度的, 乃至整个系统的一体化. 3. 精度高 比起分体结构,传感器结构本身一体化后,迟滞,重复性指标将大大改善, 时间漂移大大减小,精度提高. 后续的信号调理电路与敏感元件一体化后可以大大减小由引线长度带来的寄生参量的影响,这对电容式传感器更有特别重要的意义. 4. 多功能微米级敏感元件结构的实现特别有利于在同一硅片上制作不同功能的多个传感器,如,美国霍尼韦尔公司, 80 年代初期生产的ST-3000型智能压力(差)和温度变送器,就是在一块硅片上制作了感受压力, 压差及温度三个参量的,具有三种功能(可测压力, 压差,温度)的敏感元件结构的传感器.不仅增加了传感器的功能, 而且可以通过采用数据融合技术消除交叉灵敏度的影响, 提高传感器的稳定性与精度 5. 阵列式微米技术已经可以在一平方厘米大小的硅芯片上制作含有几千个压力传感器阵列,譬如,丰田中央研究所半导体研究室用微机械加工技术制作的集成化应变计式面阵触觉传感器,在8 mm×8 mm的硅片上制作了1 024个(32×32)敏感触点(桥), 基片四周还制作了信号处理电路,其元件总数约16 000个. 五、新一代汽车智能传感器 汽车智能传感器也必然成为智能车先进系统的“神经末梢”，为中央处理器提供必需的感知信息，汽车动力性能、操控性能、安全性能和舒适性能等各个方面 。 发动机管理系统 底盘与传动系统 安全系统 车身电子系统 空调环境系统 新型智能安全方案 酒精检测MEMS系统：采用二氧化锡MEMS元件，正常状况下，元件在吸附空气中的氧气后会保持某个电阻值不发生变化，而一旦空气中含有酒精，元件表面的氧元素便会与酒精发生反应，使电阻值下降。通过测定电阻值，便可检测出呼气中含有的酒精浓度。 传感器植入在直径8mm的密封外壳内、连同信号处理电路等一起嵌入方向盘内，一旦检测出驾驶员呼出的气体含有酒精，便发出安全警报。 自动雨刷系统： 以发光二极管对前挡风玻璃发出光束，当雨滴打在感应区的玻璃上时，光束所反射的光线强度，会因玻璃上的雨量或湿气含量而有所变化，改变雨刷的刷动频率；或透过红外线电子雨量传感器感应雨量的多寡，并随车速的变化自动调整雨刷速度，增进驾驶人的驾驶方便性，让驾驶更有安全性。 1、采用激光斑多点探测窗上雨滴数来控制雨刷的启动； 2、光电式自动雨刷感控器； 3、平面电容式汽车玻璃自动雨刷系统智能传感器 4、光栅数字式自动雨刷系统测控器； 5、红外雨量传感器； 车速 信号 仪表