二氧化碳气体薄膜传感器的制备及气敏特性研究-光学工程专业论文.docxVIP

摘要 摘 要 二氧化碳气体是温室气体的主要成分。随着二氧化碳气体的大量排放，温室 效应的影响已经逐渐地作用到了人类生产生活中。所以，探测二氧化碳气体的技 术已经在许多领域变得极其重要且必不可少了，例如：农业生产、清洁能源、食 品工业、化学工业等。二氧化碳气体由于其本身化学性质太稳定，导致对其敏感 的材料相对较少。基于软硬酸碱理论，本文拟寻找敏感材料有带有胺基的有机材 料等。带有胺基的有机材料作为二氧化碳薄膜传感器的敏感材料，具有成本低廉、 制备简单、灵敏度高等优点，必然成为今后二氧化碳传感器发展的趋势。所以以 HSAB 理论为基础，使用 QCM 和 SAW 器件制备的二氧化碳传感器必将为二氧化 碳传感器的研制提供一条新的途径。本文主要完成如下的工作： （1）首先配制了聚合物材料 PEI 以及 THEED 溶液，并通过掺杂的方法配制 了 PEI/Starch 溶液。采用旋涂法将三种材料沉积在声表面波 SAW 器件上，测试了 其对气体 CO2、酸性气体 NO2、碱性气体 NH3 的敏感效应。研究发现，掺杂淀粉 后，对 PEI 有一定性能的改变。PEI/Starch 对于 CO2，NO2，NH3 气体的频率变化 都是最大，而 THEED 对 CO2 和 NO2 气体的响应恢复时间最快，而其对于 NH3 响 应微弱。 （2）采用旋涂法，制备出三种材料的 QCM 二氧化碳传感器，并测试了其相 关敏感特性。测试结果显示，频率变化方面：PEI/Starch 对于所有三种气体的频率 变化都是最大的。响应时间方面：THEED 对 CO2 的响应速度优于另外两种材料， 对于 NO2 和 NH3 则几乎没有响应，PEI 对于 NO2 和 NH3 的响应时间大于 PEI/Starch。 恢复时间方面:对于三种气体的回复时间与响应时间相类似，THEED 对于 CO2 的 恢复时间最快，对 NO2 和 NH3 几乎没响应。PEI 对于 NH3 的回复时间最快。重复 性方面：PEI/Starch 与 THEED 材料的重复性都较好，而 PEI 的重复性较差。温度 特性方面：PEI 与 PEI/Starch 的温度特性相似，唯一不同的是，PEI/Starch 薄膜传 感器的频率变化比 PEI 薄膜传感器的频率变化大。THEED 薄膜传感器的温度特性 则不同，其随着温度升高，频率变化降低。 关键词： 二氧化碳，气体传感器，有机聚合物，SAW，QCM - I - ABSTRACT ABSTRACT Carbon dioxide (CO2) is the main part of the greenhouse gases. Due to a large number of emissions of carbon dioxide, the greenhouse effect has caused great damage to the environment of human life. Detecting CO2 is necessary and important in many fields such as: clean energy technologies, agricultural production, demand control ventilation, emissions, food industry, chemical industry, storage, geological research and transportation. In particular, CO2 sensor has been successfully used in renewable energy applications. Since CO2 generally is an unreactive molecule, the design of CO2 sensor operated at room temperature with new sensitive materials had many difficult issues. In this paper, the Hard Soft Acid Base (HSAB) theory was introduced as a new tool to select or design sensitive materials for CO2 detection. Carbon dioxide gas sensor according to HSAB based on QCM and SAW for the detection of CO2 provided a new way. The main research c