陈辉《材料合成与制备》第一章资料教程.ppt
* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 利用帕耳贴效应 由于固液界面处存在的接触电位差,当电流由熔体流向晶体时,电子被接触电位差产生的电场所加速,因此,相对于通常的焦耳热来说,固液界面处有附加的热量放出,即帕耳帖致热;相反,当电流由晶体流向熔体时,固液界面处将吸收热量,即帕耳帖致冷。以上两效应合称帕耳帖效应。 利用气流调节帕耳帖效应也可以控制晶体的直径。 控制提拉速率。在加热功率和热损耗一定时,拉速大直径小。然而在实际中,拉速变化可引起溶质的瞬态分凝,从而影响晶体质量,故实践中一般不用拉速来控制晶体直径。 晶体旋转对直径的影响: 搅拌熔体,使熔质混合均匀;使温场对称 转速增加晶体直径减小。 5. 提拉法工艺设备: 加热源 控温设备 熔体盛放设备 旋转提拉设备 气氛控制设备 氩气 射频线圈 硅氧观察窗 透明硅氧管 硅氧坩埚 石墨感受器 泡状氧化铝或类似的材料 陶瓷托 6. 提拉法生长晶体的一般原则: 平衡提拉速度和加热条件 引入籽晶时要使熔体温度略高于熔点 设计适当的冷却速度,避免冷却太快 引起晶体应变 1.2.2 定向凝固法(B-S方法) (a) (b) (c) (d) (e) 定向凝固法中使用的各种结构 铜的B-S生长装置图 定向凝固法生长单晶的设备: 特定结构的坩埚 热梯度炉体 程序控温
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