原创力文档第卷第期红外技术年月材料与器件基于全光谱拟合法的薄膜光学常数计算侯典心路远宋福印电子工程学院安徽合肥红外与低温等离子体安徽省重点实验室安徽合肥脉冲功率激光技术国家重点实验室安徽合肥摘要为实现对薄膜光学常数的测量本文在全光谱拟合法的基础上首先利用导纳矩阵法推导出透射率与薄膜厚度折射率以及消光系数的函数关系然后利用单纯形法得到其优化函数最后采用编程方法对低温态高温态薄膜的红外透射率进行了全光谱拟合得到折射率和消光系数等薄膜光学常数的拟合曲线结果表明拟合曲线与已有研究结果及实测曲线基本吻合采用全光谱拟
第39 卷 第3 期 红 外 技 术 Vol.39 No.3
2017 年3 月 Infrared Technology Mar. 2017
〈材料与器件〉
基于全光谱拟合法的 VO2 薄膜光学常数计算
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