集成电路芯片制造过程在线数据统计过程控制SPC分析系统及的应用.docVIP

集成电路芯片制造过程在线数据统计过程控制SPC分析系统及的应用 　　[摘要] 集成电路芯片制造过程采集大量在制品WIP和生产设备的数据，对采集的数据强化统计过程控制SPC的管理，加强对数据的各种实时监控，建立多种方式的报警，多形式的图形报表，以及相宜的SPC统计工具。通过提高过程稳定性和过程能力，加强对在制品稳定性和一致性的分析，可提高工程师现有的分析能力，从而有助于进一步提升制造能力。 　　[关键词] 芯片制造 质量控制 SPC 　　[中图分类号] TN406 TP399 [文献标识码] A [文章编号] 1674-2583（2014）03-0026-07 　　 1 统计过程控制SPC 　　统计过程控制SPC（Statistical Process Control）是基于统计理论的技术和方法，通过对生产过程中的工序参数质量数据进行计算描图，实现对工序过程稳定性的监控和预测，从而达到发现异常、及时改进、减少波动、保证过程稳定、产品总体质量稳定可靠的目的。所以SPC可以提高过程的稳定性，降低不合格品率，降低成本，提高企业的经济效益。 　　SPC控制图的预防原理：应用SPC对检测数据进行统计分析能够区分生产过程中的正常波动与异常波动，及时预警，提醒生产人员采取措施消除异常，从而保证产品质量特性的一致和稳定。对异常波动的及时预警是SPC的最大特点，它能够在异常因素刚一露出苗头，尚未造成不合格品之前就能及时发现，指导技术人员采取措施，消除异常。这样，便极大地减少不合格品的产生，保证生产顺畅进行，从而提高生产率。可以在这种趋势造成不合格品之前就采取措施加以消除，从而实现SPC的预防作用。 　　在生产监控现场，更多的情况是控制图显示异常，表明异因已经发生，这时要严格贯彻过程质量控制的原则：查出异因，采取措施，保证消除，不再出现，纳入标准。每贯彻一次这个原则，即经过一次这样的循环就消除一个异因，使它不再出现，从而起到保证过程稳定一致的作用。由于异因有限，经过有限次的循环后，最终可以达到在过程中只存在偶因而不存在异因。 　　ISO9001-2000提出关于质量管理的原则，对于质量管理实践具有深刻的指导意义。其中，过程方法、基于事实的决策原则都和SPC有着密切的联系。以什么样的方法来对过程进行控制？以什么样的手段来保证管理决策的及时性和可靠性？是管理者考虑最多的问题。SPC的运用是对按ISO9001标准建立的质量管理体系的有力支持。 　　 2 建立芯片制造过程SPC系统 　　 2.1 系统构成 　　芯片制造过程SPC系统以客户/服务器结构（C/S结构）为基础模型，包括数据库服务器、数据采集/监控站点、SPC监控分析站点、SPC监控查询站点、SPC异常报警装置、基于浏览/服务器B/S结构的远程质量查询站点、SPC控制图异常回馈等部分组成。 　　 2.2 功能构成 　　 2.2.1 工程师权限构成 　　系统软件对操作权限进行详细的划分，严格细致的权限管理使系统的安全性得到充分保证。每个工程师的权限包括系统功能操作权限、产品/工序查询权限、采集计划使用权限三部分。根据工程师的工作内容、职务划分而做适当的权限设置，充分保证软件系统和数据的安全和高效运行。 　　 2.2.2 工艺版本属性工程师自定义 　　软件系统采用视窗软件常用的树形结构来保存“工艺版本”的属性定义。可以根据生产线的组织结构来自由定义“工艺版本”的“路径”，路径层次的深浅随意延伸。树形结构弥补表格式结构中属性项目数量固定、名称固定的缺陷。 　　 2.2.3 质量特性定义 　　在质量特性的属性定义时，工程师不仅可以定义它的规格类型及数值，还可以定义控制图、数值精度、样本大小、控制线计算方法、与特性参数关联的标签项目、控制图判异准则等内容。这些项目都是在SPC工序监控过程中要用到的。 　　 2.2.4 两种可并发的数据采集方式 　　软件系统提供两种可并发的数据采集方式。一种是从制造控制系统中采集的量测数据自动转入，另一种是由检测人员得到量测数据后键盘录入。不管由那种途径采集到的量测数据都要存入SPC数据库中，同时进行控制图描点判异及相关统计参数的计算。数据自动采集由接口软件在后台读取数据，数据准确及时，是SPC工序控制的主要和最佳方式。键盘输入只是一种补充。 　　 2.2.5 判异准则内容可自定义 　　软件系统中的控制图判异准则的详细内容由工程师根据情况自定义。在判异准则管理树中，系统给出8个判异准则大类和一些通用的判异准则条款。工程师要使用一些特殊的判异准则条款，可以自定义具体内容。比如在规则类“连续n个点中有m个点落在中心线同侧的B区以外”中，工程师可以根据实际定义n和m的取值，生成一个新的判异条款。 　　 2.2.6 建立监控计划