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高Q值表面等离子体传感器的研究 　　摘要：设计了高Q值表面等离子体传感器，传感器芯片的基底为200 μm厚的石英材料，上层为复合结构金属层。为保证高效传输，它的等离子体波导由共面波导结构（coplanar waveguide，CPW）过渡引出，经由表面等离子体传输线传输至谐振环，从而共振模式可以由等离子体波导和谐振环的相互耦合共振产生。通过仿真，对不同模式下的电场分布图对应谐振环的闭合状态进行研究，在传输系数S21图上得到6个明显的谐振谷，其中有3个谷的Q值十分高，这6个谐振谷的Q值范围为44.6～268.3。 　　关键词： 　　等离子体波导； 谐振环； 传感器 　　中图分类号： TN 29文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn2017.06.009 　　Abstract： 　　In this paper，a high Q surface plasmon sensor is designed.The substrate of this sensor chip is 200 μm thick quartz material，and the upper layer is a composite metal layer.In order to ensure the efficient transmission，its plasma wav