微机电系统加工技术及应用实例分析-毕业论文（设计）.docVIP

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2018-11-13 发布于广西
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微机电系统加工技术及应用实例分析-毕业论文（设计）.doc

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*****毕业设计（论文）题目微机电系统加工技术及应用实例分析_ 专业年级学生姓名学生学号指导教师职称_ 完成毕业设计（论文）时间 2014 年 5 月刘鑫：微机电系统加工技术及应用实例分析第 PAGE XV页共18页目录前言 Ⅰ TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc293681474 1 MEMS加工技术介绍 PAGEREF _Toc293681474 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293681475 1.1 概述 PAGEREF _Toc293681475 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293681476 1.2 MEMS加工技术的特点及应用 PAGEREF _Toc293681476 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293681477 1.2.1 MEMS加工技术的特点 PAGEREF _Toc293681477 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293681478 1.2.2 MEMS加工技术的应用 PAGEREF _Toc293681478 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293681479 2 MEMS加工技术 PAGEREF _Toc293681479 \h 3 HYPERLINK \l _Toc293681480 2.1 体型微加工技术 PAGEREF _Toc293681480 \h 3 HYPERLINK \l _Toc293681481 2.1.1 湿法腐蚀 PAGEREF _Toc293681481 \h 3 HYPERLINK \l _Toc293681482 2.1.2 干法腐蚀 PAGEREF _Toc293681482 \h 5 HYPERLINK \l _Toc293681483 2.2 表面微加工技术 PAGEREF _Toc293681483 \h 6 HYPERLINK \l _Toc293681484 2.2.1 薄膜生成技术 PAGEREF _Toc293681484 \h 6 HYPERLINK \l _Toc293681485 2.2.2 牺牲层技术 PAGEREF _Toc293681485 \h 8 HYPERLINK \l _Toc293681486 2.3 LIGA加工技术和SLIGA加工技术 PAGEREF _Toc293681486 \h 8 HYPERLINK \l _Toc293681487 2.3.1 LTGA加工技术 PAGEREF _Toc293681487 \h 8 HYPERLINK \l _Toc293681488 2.3.2 SLIGA加工技术 PAGEREF _Toc293681488 \h 9 HYPERLINK \l _Toc293681489 2.4 其它微结构加工工艺 PAGEREF _Toc293681489 \h 10 HYPERLINK \l _Toc293681490 2.4.1 电火花加工工艺 PAGEREF _Toc293681490 \h 10 HYPERLINK \l _Toc293681491 2.4.2 激光精细加工 PAGEREF _Toc293681491 \h 10 HYPERLINK \l _Toc293681492 2.4.3 键合技术 PAGEREF _Toc293681492 \h 10 HYPERLINK \l _Toc293681493 3 微机电系统加工实例分析 PAGEREF _Toc293681493 \h 11 HYPERLINK \l _Toc293681494 3.1 用体微加工技术制作微传感器 PAGEREF _Toc293681494 \h 11 HYPERLINK \l _Toc293681495 3.2 微机电系统在光学上的应用 PAGEREF _Toc293681495 \h 12 HYPERLINK \l _Toc293681496 3.2.1 微铰链 PAGEREF _Toc293681496 \