氦质谱检漏仪检测原理及应用.PDF

第24卷第2期 聚酯工业 V01．24No．2 201l—03 Industry Mar．20ll Polyester 1．02．017 doi·10．3969／j．issn．1008—8261．201 氦质谱检漏仪检测原理及应用 何己有 (广东开平春晖股份有限公司，广东 开平529325) 摘要：简要介绍了氦质谱检漏仪检测的工作原理、技术性能及探测方法，通过在PET生产线反应釜真空检漏应用实例说明用 它检测的町靠性和优点。 关键词：PET；氦质谱检漏仪；检漏 文献标识码：B 文章编号：1008-8261(2011)02-0054-04 中图分类号：TQ323．41；TB774 子流并送人到电流放大器，通过测量离子流就可知 0前言 漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作 近年来，随着高真空检漏技术科学领域的不断 保护装置。 发展和应用技术的日趋成熟，以及高真空检漏仪器 2示漏气体的选择及特性分析 技术的不断创新和进步，仪器更新换代很快。从技 术性能、高可靠性、准确性、耐用性、灵活性和性价比 氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应 等各方面都有着划时代的进步，从而使高真空检漏 从以下几方面考虑： 仪器从科学研究领域、实验室的高端应用逐渐普及 (1)无害，不能对人体或环境造成伤害；(2)质 到工业和民用领域的应用。氦质谱检漏技术是在真 量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝；(3) 空检漏技术领域里应用最为广泛的一种，这种检漏 化学性质稳定，不会引起化学反应和易燃易爆；(4) 方法的优点是：检漏灵敏度高(可以检漏到10’12在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气 Pa·m3／s数量级)、仪器响应快、操作简便、安全高体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测 效、成本较低、用途广泛等，所以氦质谱检漏仪在许 的准确性。 多领域里得到广泛的应用。 氢和氦都是比较理想的示踪气体，空气中的含 量少，质量轻，运动速度快，分子直径小，同等条件 1 测量工作原理及基本结构 下，直线运动距离长。在实际使用中，也相对比较容 氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空 易获取，可以大量使用。由于He具有无色、无臭、 设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性 无活性、不可燃的特性，因此一般检漏都采用氦气 检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、 (He。或He，)作为示漏气体，但也有用氢气(H：)作 操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用 为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应 得最普遍的检漏仪器，其测量工作原理如下。 用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦 氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转 气。 型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的 氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的 气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离 速度很高，用氦气作示漏气体其本底噪声低，分子质 子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计 量及粘滞系数小，因而极易通