电子显微学进展及其在材料科学中的应用3.PDFVIP

中国科学院物理研究所成立 80周年 电子显微学进展及其在材料科学中的应用 李建奇 　　段晓峰 (中国科学院物理研究所 　北京电子显微镜实验室 　北京 　100 190) 摘 　要 　　文章简要介绍了高分辨电子显微学方法和电子能量损失谱的进展. 文中特别指出 ,随着电子显微技术 的发展 ,原子分辨电子显微图像对结构问题的深入研究有重要作用. 装备有能量单色器的新一代电子显微镜 ,可以 ( ) 直接给出高能量分辨率的电子能量损失谱 优于 0. 1eV . 这些先进技术方法的应用 ,推动了晶体结构学 、材料科 学 、物理学 、纳米科学及生命科学的发展 ,也为解决很多重要结构问题奠定了基础. 文章重点讨论了几个典型功能 材料体系的结构问题 :利用大角度会聚束电子衍射技术 ,分析了应变硅器件中的应变分布 ;利用原位电子显微技 术 ,研究了新型电子铁电体 LuFe O 电荷序和物理性能的关系 ;深入探讨了强关联体系中电子关联效应对电子能 2 4 量损失谱和电子结构的影响. 关键词 　　高分辨 , 电子能量损失谱 ,功能材料 Tran sm ission electron m icroscopy and its applica tion s in ma ter ia l sc ience L I J ianQ i 　　DUAN X iaoFeng (B eij ing L abora tory of E lectron M icroscopy, Institu te of P hy sics, Ch inese A cadem y of S ciences, B eij ing 100 190, Ch ina) Ab stract　　R ecent p rogre ss in the field of h ighre solution tran sm ission electron m icro scopy ( TEM ) and elec tronenergy lo ss sp ectro scop y is briefly reviewed. It is emphasized that num erou s sign ificant structural issues in m aterial science cou ld be well addre ssed ba sed on new ly develop ed TEM techn ique s. For in stance, strainedsili con p typ e m etaloxidesem iconductor field effect tran sistors have been clearly studied by large angle convergent beam electron diffraction , and con siderab le longitudinal comp re ssive strain , up to 2. 510 , in the nanom eter scale channel region has been revealed. Moreover, insitu TEM ob servatio