电子束蒸发结合热处理方法制备高质量MgxZnxO薄膜-发光学报.PDFVIP

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2018-11-26 发布于天津
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电子束蒸发结合热处理方法制备高质量MgxZnxO薄膜-发光学报

29 2 V ol129 N o12 200 8 4 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE A pr. , 2008 : 1000-70 32 2008) 02-0 313-05 电子束蒸发结合热处理方法制备高质量M g Zn O薄膜 x 1- x * 董利普, 刘玉学 , 徐长山, 刘益春, 李亚军 , 130024 ) : 150 e , M g Zn O X x 1- x XRD ) , SEM ) , PL ) M g Zn O , : x 1- x , M g Zn O 3. 37 eV 3. 6 1 eV SEM : x 1- x , M g Zn O XRD , M gO x 1- x , 700 e FWHM ) , M g2+ ZnO Zn2+ : , M g Zn O x 1- x : M g Zn O ; ; x 1- x : O 482. 31 PACC: 3250F; 7855 : A , 1 引言 M g Zn O , x 1- x ZnO , MOCVD ) [ 5~ 7] , 3. 37 eV, 60 m eV, PLD) [ 4, 8~ 13] M BE ) , [ 14~ 16] , ZnO , , , ZnO , ZnO 150 e M g Zn O , x 1- x , M g ZnO , , , M gO , 7. 9 eVM gO ZnO M g Zn O, x 1 - x 3. 3 ~ 7. 9 eV ,