反应磁控溅射法制备TiAlN薄膜的力学性能.PDFVIP

第 23 卷 第 1 期 中 国 表 面 工 程 Vol.23 No.1 第 1 期 陈 爽等 ：铝阳极氧化膜的硫酸钇脉冲封闭 49 2010 年 2 月 CHINA SURFACE ENGINEERING Feburary 2010 doi: 10.3969/j.issn.1007−9289.2010.01.007 反应磁控溅射法制备(Ti,Al)N 薄膜的力学性能 周 滔，聂璞林 ，李铸国 ，黄 坚 ，蔡 珣 （上海市激光制造与表面改性重点实验室 上海交通大学，上海 200240 ） 摘 要：采用镶嵌靶反应磁控溅射技术 ，通过调节氮分压及基体偏压在 M2 高速钢基体表面制备了一系列耐热的 (Ti,