一种音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析.PDFVIP

中国机械工程第 卷第 期 年 月上半月 20 11 2009 6 一种音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析 王安麟 文永蓬 姜 涛 刘 钊 刘广军 暋 暋 暋 暋 暋 暋 , , 同济大学 上海 201804 : , 摘要 以一种体微加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象 从参数化设计的角度详尽分 ( ) 析了加工误差引起的两个关键参数 检测弹性梁的弹性系数和检测质量块的质量 的性能变异对最终检 。 , 。 测电容的影响 通过动力学分析 获得了系统固有频率以及检测总电容的解析表达式 根据电容幅频 , , 特性分析 获得了对微陀螺性能影响最大的两个关键参数 并针对这两个关键参数相应提出了合理化设 。 计及加工的建议 提出了保证微陀螺性能的关键在于保证音叉振动式微陀螺左右部分的对称性这一观 。 。 。 点 试验结果证明了仿真分析的正确性 研究结果明确了关键参数的变异对微陀螺性能的影响 : ; ; ; ; 关键词 微机械 陀螺 性能变异 检测电容 加工误差 中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TP212暋暋暋 1004 132X200911 1270 06 AnalsisofPerformanceVariationofaTunin ForkVibratorMEMSGroscoe y g y y p Wan Anlin暋WenYon en暋Jian Tao暋LiuZhao暋LiuGuan un g gp g g gj , , Ton iUniversit Shanhai201804 gj y g : AbstractThis aerfocusedonatunin forkvibratormicromachined roscoewhichwasfab灢 pp g y gy p , ricatedthrouhsiliconbulkmicrorocessin technolo .Fromtheviewofthe arametricdesin we g p g gy p g analsedtheeffectsoftheke arameterson erformancevariationcause