小型光栅位移传感器设计.pdfVIP

第一章绪论 §1．1研究目的及意义 随着现代兵器工业的发展，提高武器装备的检测技术水平及加工工艺水平，并研制 高精度火炮已经成为兵器研究的重点，而身管是火炮的重要组成部件．它的工作条件恶 劣和苛刻，它不仅要承受高温高压的火药气体的作用，还要受到高速运动弹丸的作用。 身管的质量对火炮在射击精度、发射安全性和使用寿命都有直接影响。因此身管的检 测在整个火炮制造、验收及维修检查中有十分重要的地位．开展此项研究，对提高我 国身管内径检测水平，确保火炮战斗力具有很重要意义。 近年来，传感器技术、自动化技术、计算机技术和信息处理技术被广泛用于位置检 测中，对位置测量提出了新的要求：高精度、小型化和数字化，现代精密仪器的精度要 求达到微米级、亚微米级，甚至更高。世界各国都在致力于发展位置检测技术。在国 内，位置检测技术及数显技术是重点发展和推广的新技术，多年来在航空航天、精密 机械仪器、数显数控机床、长度角度测量、机器人，自动机械、机电一体化等各个领 域均得到广泛地应用。而身管的检测，我国同发达国家还有一定距离，本课题就在此 背景下，希望研制一套完备的检测系统，对提高我国火炮生产水平、效率、确保出炮 质量，保证火炮的可靠性和稳定性以及提高国防实力都具有极为重要的意义。另外， 这种接触式光电内径测量技术在民品方面也具有广阔的应用。 本光栅测径仪采用光栅计量技术，即利用光栅作为位移传感器，通过对莫尔条纹计 数来实现位置检测的技术。由于机械加工技术不断向着高速度、高精度、高效率的方 向发展；机床的数控系统向着高度集成、高分辨率、小型化方向发展；高精度机床和 组合机床的发展，促进了作为位置检测系统的光栅测量系统迅速发展。光栅计量技术 是传感器技术从由模拟化到数字化的一个重要发展．目前己广泛地应用于精密测量和 精密定位控制领域。据有关资料表明，国外在各种位置检测中计量光栅Ⅲ翻酬”应用最 多，约占全部产品的80％以上．小型光栅位移传感器是测径仪的核心部件，其配合电路 系统和数据处理系统，可自动检测中小口径身管的内径与质量。采用光栅位移传感器 因为其具有这些优势： (1)高精度：由于光栅刻制技术及电子细分技术的发展以及莫尔条纹的误差平均作 用，使光栅测量系统在大量程测长方面精度仅次于激光测量的一种高精度测量系统； (2)兼有量程大、分辨率高两大特性； (3)可实现动静态测量，自动测试和数字显示功能； (4)抗干扰能力强，对环境的要求低于激光干涉测量方法，在环境较为恶劣的工业现， 场其稳定性优于电感式传感器； (5)具有较高的测量速度。 要实现高精度高分辨率的测量，必须从光栅技术和莫尔条纹细分技术这两部分入 手，这是计量光栅技术的核心。 §I．2国内外研究现状 身管内膛精度和疵病检测，在火炮生产中是个关键技术．传统的身管参数检测都 是分步进行的．近年来随着仪器仪表与测试技术的发展，过去许多依赖人工操作的测 量过程逐渐被现代计量测试仪取代。身管内膛疵病的检测在生产单位基本上是采用光 学内窥镜，量程为3m左右． 国外一些发达国家，早已经开始采用光电仪器来检测火炮内膛形廓和疵病。日本 三菱公司应用机器研究所，于1988年发明了管内面形状测定装置，可检测无膛线炮管 的内径。奥地利的A、，L公司应用电容式传感器制作的圆管量规，可对口径75-210m的 炮管内径进行接触式检测，检测精度为士0．05衄．美国已经把激光准直技术应用到身 管直线度的在线检测方面。 本课题系统可对口径25～85Ⅱ咖、身管长度6lⅡ以内的身管内膛尺寸与疵病进行在 线检测，并实时输出身管膛线实际检测参数。小型光栅位移传感器使本系统的核心部 件，计量光栅作为位置测量，部件形位误差检测、柔性加工系统以及管内径检测方面 得到广泛应用。 四十多年来，世界各国都在致力于发展位置数字测量，研究开发新型的测量元件 和信息处理技术。到目前为止，人们所公认并得到广泛用的位置测量技术是计量光栅、 感应同步器、磁栅、容栅、球栅和激光等。光栅传感器主要应用于机床工业，但随着 计量光栅精度的提高和细分技术的发展，目前已使其应用领域迅速扩展到科学技术和 工程的各个方面．如：仪器仪表，位移变送器、齿轮测试和误差补偿、压力测量和泡沫 箱粒子径迹测量、星球照相、天文望远镜和射电望远镜的自动控制、x射线衍射样品取 向控制等高科技领域中。 七十年代由于光刻、复制技术和微电子技术的发展，使光栅测量系统生产成本大 大降低，