KLA-Tencor-科磊半导体第五代原位纳米力学测试系统-仪器谱.PDFVIP

KLA-Tencor-科磊半导体 第五代原位纳米力学测试系统 世界上测试速度最快的 微纳米力学测试平台 KLA-Tencor|原位纳米力学测试系统 公司背景-Global Leader in Process Control since 1976 KLA-Tencor 是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商； KLA-Tencor2018 年 3 月从 Keysight Technologies 公司收购了行业的龙头产品-高精度原位微纳米力学 测试系统-Nano Indenter G200 和高精度微纳米拉伸系统-UTM T150 ； 该力学设备的工厂是全球最大的高精度力学测试系统的供应商，1983 年成功制造了世界上第一台商用 Nano Indenter。 该力学设备的工厂是业内唯一拥有超过 35 年的 Nano Indenter 生产和研究经验的供应商 ，成熟的工艺 保证了新一代 Nano Indenter G200 具有最好的稳定性和可靠性。 该力学设备的工厂拥有最广泛的顾客群，在高端力学测试系统领域内拥有最高的的市场占有率。 1 ． 产品技术水平 KLA-Tencor 公司拥有最多的 Nano Indenter 的核心专利技术，包括已成为业界标准的连续刚度测量功 能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等 ； KLA-Tencor 公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等样品检测最常用的的测试技 术，并已经录入各种力学领域的国际标准和中国国家标准内。 KLA-Tencor 拥有世界上最快压痕测试技术的专利，最快可达到 1 压痕点/秒。 2 ． 售后服务和技术支持 KLA-Tencor 公司在中国有超过 600 名员工，在国内配备本土 Nano Indenter 方面的技术专家，在业内 拥有最好的口碑。 KLA-Tencor 公司在中国拥有自己的纳米科学示范实验室，并有专职的应用专家在实验室工作，负责用 户的应用技术支持工作； KLA-Tencor 公司还定期地举办高级用户培训班，由公司的应用科学家为不同学科的用户进行各个领域应 用的深层次培训。 2 KLA-Tencor|原位纳米力学测试系统 第五代原位纳米力学测试系统 Nano Indenter G200 在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 应用 – 半导体器件, 薄膜 – 硬质涂层, DLC薄膜 – 复合材料, 光纤, 聚合物材料 特点和优势 – 金属材料, 陶瓷材料 – 无铅焊料 – 广受赞誉的高速测试选项可以 – 生物材料, 生物及仿生组织等等 和所有G200 型纳米压痕仪配合 使用, 包括DCMII 和 XP 模块以及 先进的设计 样品台 – 快速进行面积函数和框架刚度 所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的 校对 载荷有精确的控制。KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷 – 精确和可重复的结果, 完全符合 装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 ISO14577 标准 KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便 – 通过电磁驱动, 可在无与伦比的 的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简 范围内连续调整加载力和位移 便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块