单晶硅电火花线切割表面损伤层分析-机械制造及其自动化专业论文.docx

单晶硅电火花线切割表面损伤层研究 单晶硅电火花线切割表面损伤层研究 南京航空航天大学硕士学位论文 南京航空航天大学硕士学位论文 图、表清单 图 1. 1 典型绝缘体、半导体及导体的电导率范围 3 图 1. 2 硅片外圆切割机 4 图 1. 3 硅片内圆切割机 4 图 1. 4 多线切割示意图 5 图 1. 5 多线切割现场 5 图 1. 6 电火花线切割单晶硅片现场图 8 图 1. 7 电火花线切割单晶硅片实物图 8 图 2. 1 放电加工原理示意图 9 图 2. 2 放电微观过程 12 图 2. 3 金属放电凹坑示意图 14 图 2. 4 变质层厚度变化规律图 15 图 2. 5 放电蚀除微粒扫面电子显微镜图 16 图 2. 6 出现在放电蚀坑底部的小孔 16 图 2. 7 极间能量分配及传递 16 图 2. 8 放电柱端部跳跃与移动示意图 18 图 2. 9 80V/30us 时扫描电子显微图 错误！未定义书签。 图 2. 10 130V/30us 扫描电子显微图 错误！未定义书签。 图 2. 11 高斯旋转体热源示意图 20 图 2. 12 热应力蚀除微粒 17 图 2. 13 加工表面放电蚀坑形貌 SEM 图 22 图 2. 14 放电蚀除示意图 22 图 2. 15 加工前表面状况 22 图 2. 16 加工后表面腐蚀形貌 24 图 3. 1 DK7732T 型高速走丝线切割机床 26 图 3. 2 单晶硅电火花线切割装置三维结构图 27 图 3. 3 电火花线切割装置二维原理图 27 图 3. 4 改装电源实物图 28 图 3. 5 放电脉冲发生控制系统 28 图 3. 6 脉冲电源原理图 29 图 3. 7 金属放电加工波形图 29 图 3. 8 单晶硅放电加工电波形图 29 图 3. 9 伺服进给控制系统 30 图 3. 10 正极性加工 P 型单晶硅原理图 30 图 3. 11 加工后切缝实物图 31 图 3. 12 腐蚀速度示意图 32 VI VII VII VIII VIII 图 3. 13{100}面择优腐蚀蚀坑 33 图 3. 14{110}面择优腐蚀蚀坑图 33 图 3. 15 机械加工表面择优腐蚀坑 33 图 3. 16 光学工具测量显微镜实物图 34 图 3. 17 JSM-6360LV 型电子扫面显微镜 35 图 3. 18 表面三维形貌轮廓仪 36 图 3. 19 测试示意图 36 图 4. 1 工作液为水时加工表面 EDS 图 38 图 4. 2 加工表面 EDS 分析 39 图 4. 3 复合工作液中加工后表面 EDS 分析图谱 39 图 4. 4 加工前硅片表面状况 40 图 4. 5 硅片电解/电化学腐蚀图 40 图 4. 6 经过化学清洗后硅片表面的 EDS 图 40 图 4. 7 电火花线切割硅片表面光学显微图 41 图 4. 8 三维形貌轮廓图 42 图 4. 9 加工表面原始轮廓曲线 42 图 4. 10 WEDM-HS 硅片切割试验系统示意图 43 图 4. 11 单脉冲放电蚀坑电火花线切割试验示意图 44 图 4. 12 单晶硅表面放电蚀坑 44 图 4. 13 金属表面放电蚀坑 44 图 4. 14 加工电压 130V、脉冲宽度 5 μs 45 图 4. 15 加工电压 170V、脉冲宽度 5 μs 45 图 4. 16 加工电压为 80 V 时放电凹坑 45 图 4. 17 加工电压为 130V 时放电凹坑 45 图 4. 18 加工电压为 170V 时放电凹坑 46 图 4. 19 SPSS Statistics 17.0 数据处理软件操作界面 47 图 4. 20 迭代过程流程图 47 图 4. 21 最后结果输出 48 图 4. 22 表面轮廓图形 48 图 4. 23 表面粗糙度随加工电压变化规律图 49 图 4. 24 表面粗糙度随脉冲宽度的变化规律 50 图 4. 25 表面粗糙度随脉冲间隔的变化规律 50 图 4. 26 表面粗糙度轮廓的最大高度 Rz 的确定 51 图 4. 27 不同参数下三维形貌轮廓图 52 图 4. 28 不同参数下原始表面轮廓曲线 52 图 5. 1 抛光后硅片表面状况图 54 图 5. 2 切缝边缘的崩裂现象 56 图 5. 3 电火花线切割试验示意图 56 图 5. 4 电火花线切割试验硅片进电示意图 56 图 5. 5 裂纹深度随加工电压变化规律 57 图 5. 6 加工电压 100V 放电波形 58 图 5. 7 加工电压 170V 放电波形 58 图 5. 8 80V/30μ s 时无裂纹产生 58 图 5. 9 100V/3