晶格失配对异质外延超薄膜生长中成核特性的影响!-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 -# $$+ ， ， ， FMN ’-# 2M ’ ?1@19A $$+ （ ） !$$$I#6$($$+(-# $ (%66I$% ?0C? 4JKBL0? BL2L0? !$$+ 0O3= ’ 4OP9 ’ BMQ ’ %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% 晶格失配对异质外延超薄膜生长中成核特性的影响! ）） ） ） ） ! ! ! 王晓平 谢 峰 石勤伟 赵特秀 !）（中国科学技术大学物理系，合肥 #$$% ） ）（中国科学院结构分析重点实验室，合肥 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$# ! $$# ! !% 利用动力学蒙特卡罗方法模拟了异质外延超薄膜生长中的成核过程 研究了薄膜与衬底的晶格失配对超薄膜 ’ 生长中成核密度、平均核尺寸、标度关系及生长模式的影响’ 结果发现产生压（张）应变的晶格负（正）失配使生长过 程更早（迟）从成核区进入过渡区，失配越大，这一效应越明显 在相同的沉积条件下，负失配导致超薄膜形成较低 ’ 的成核密度与较大的平均核尺寸，而正失配则相反 ! 成核密度满足标度关系 （ ），随着失配度从 增 ’ ! #( $ ) $ *$+ 加到$ *$，标度系数 从$ *#, 逐渐减小到$ *##，对应超薄膜生长过程从包含二聚体扩散模式转变到无二聚体扩散 ! 模式 此外，模拟结果还表明，核尺寸分布的标度关系理论在晶格失配的异质外延生长中仍是有效的 ’ ’ 关键词：薄膜生长，成核，晶格失配，蒙特卡罗模拟 ： ， ， !## %-- %+-. ,!!-/ （单位为 ）， 为标度系数 对临界核为 的 78( 9 !