磁场作用下微细电铸技术试验研究-机械工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 河 南 理 工 大 学 学 位 论 文 原 创 性 声 明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是我个人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。论文中除了特别加以标注和致谢的地方外，不包含任何其他 个人或集体已经公开发表或撰写过的研究成果。其他同志对本研究的启发和所做 的贡献均已在论文中作了明确的声明并表示了谢意。 本人愿意承担因本学位论文引发的一切相关责任。 学 位 论 文 作 者 签 名 : 年 月 日 河 南 理 工 大 学 学 位 论 文 使 用 授 权 声 明 本学位论文作者及导师完全了解河南理工大学有关保留、使用学位论文的规定，即： 学校有权保留和向有关部门、机构或单位送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅 和借阅，允许将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播，允许采 用任何方式公布论文内容，并可以采用影印、缩印、扫描或其他手段保存、汇编、出版 本学位论文。 保密的学位论文在 解密后适用本授权 。 学位论文作者签名 ： 导师签名： 年 月 日 年 月 日 致 谢 四年，又三年，这个我生活和学习了七年的地方正悄然变成回忆，那里有年 少轻狂，那里有奋发向上，那里有蓦然反思，那里有最美的青春岁月。匆匆的、 慢慢的，触笔之间，点点往事，历历在目，有的只是不舍，有的只是眷恋，有的 只是深深的感激之情。 在论文完成之际，首先要向导师张燕老师表示衷心的感谢。三年来，张老师 在科研和生活上都给予作者莫大的关心和无私的帮助，张老师渊博的学识、积极 进取的精神、以及善良和大度都深深地感染了我，将使我受益终身。 衷心感谢恩师明平美副教授。无论是课题研究的开展，还是论文的写作，其 中都凝聚着明老师的心血。明老师专业之精通、知识之广博、治学作风之严谨、 科研意识之敏锐以及诲人不倦的育人风范都给我留下了深刻的印象。再次，向明 老师表示深深地感谢和敬意。 感谢机制教研室的老师们提供的建议和帮助，衷心感谢李瑜老师和崔锋师傅 在试验加工和试件检测中给予的无私帮助。 衷心感谢李英杰师兄、王艳丽师姐在课题研究中给予的悉心指点和热心帮助。 感谢金耀辉、韩杰、常永、荆华、马俊金等同学在学习和生活中给予的帮助。特 别感谢师弟吕珍斌和李松昭，在试验加工中给予的莫大支持和帮助，为我研究工 作的顺利完成提供了保障。 深深感谢父母给予我的一切，愿您们永远健康快乐！感谢一直支持和鼓励我 的亲人和朋友，谢谢你们！ 吕印定 2012 年 4 月于河南理工 I II 摘 要 微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）作为当今科技研究的 热点之一，不仅蕴含着巨大的经济效益，而且体现出了在国家战略高科技中的重 要地位，已逐渐成长为一个庞大的领域。作为 MEMS 微器件和微结构主要实现手 段之一的微细电铸技术，以其工艺柔性好、复制精度高、可加工高深宽比 3D 微结 构而受到了业界普遍欢迎。然而，受制于液相传质困难，微细电铸件往往会出现 针孔、结瘤、氢脆等缺陷，造成微细电铸在应用和发展上受到一定影响，彻底解 决微细电铸过程中的传质受限问题已成为国内外众多研究者关注的焦点之一。 在微细电铸过程中叠加外磁场以解决传质受限问题是一个创新性思路。本课 题组曾运用数值仿真对磁场下微空间内电沉积时的流体状态进行了模拟分析，结 果显示，叠加垂直磁场后，原本几近停滞的电解液产生了明显运动，较好实现了 与本体溶液的物质交换。本文首次开展了磁场作用下的微细电铸试验研究，研究 了磁场对微细电铸过程的作用效果，并对数值模拟结果进行了验证。 本文在国家自然科学基金项目和中国博士后科学基金特别资助项 目[200801373]的资助下，依托我校“精密制造技术与工程河南省高校重点开放实 验室”的软硬件资源，对磁场作用下的微细电铸技术进行了试验研究。 概述了微细电铸技术及其研究现状，并对磁电化学沉积技术的研究进展进行 了综述。着重对磁电沉积的作用机理进行了深入分析总结，认为磁流体力学效应 （MHD）对增强液相传质起到了重要作用，梯度磁力效应在一定程度上改善了传 质状况，而磁化力效应对金属电结晶取向过程有明显影响。 研制了磁场作用下的微细电铸试验装置，装置设计包括有磁场发生单元设计、 电沉积单元设计及电解液循环单元设计。其中，磁场发生单元是装置设计的重点 和难点，本文采用永磁磁源作为磁场发生单元的场源，利用镜像法设计优化了永 磁体形状和尺寸参数，设计中重点对聚磁体的结构和尺寸进行了优化。最终研制 完成的磁微细电铸装置，工作气隙在 30mm 距离时中心区磁感应强度达 0.867T， 并且装置可通过螺栓调节获得不同强度的磁场。 首次开展了磁场作用下的宏观电铸试验研究，磁场与电场垂直叠加，磁感应 强度为 0.82T。为