大功率微波电源控制方案的研究-检测技术与自动化装置专业论文.docx

Research on Control of High-power Microwave Source A Thesis Submitted for the Degree of Master Major : Measurement Technique and Automatic Device Candidate: Li Zongchao Supervisor: Prof. Wang Jianhua Senior engineer Qin Daodong Wuhan Institute of Technology Wuhan, Hubei 430073, P. R. China 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文 不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研 究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识 到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名：李宗朝 2013 年 06 月 03 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解我校有关保留、使用学位论文的规定，即： 我校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允 许论文被查阅。本人授权武汉工程大学研究生处可以将本学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等 复制手段保存和汇编本学位论文。 保 密 ， 在 年解密后适用本授权书。 本论文属于 不保密√。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名：李宗朝 指导教师签名：汪建华 2013 年 06 月 03 日 2013 年 06 月 03 日 摘 要 微波等离子体技术具有极其广阔的应用领域，如等离子体增强化学气相沉积、等 离子体表面处理以及等离子体刻蚀等。微波电源作为微波等离子体设备的核心，其输 出功率的不稳定性将直接制约着微波等离子体技术的应用与发展，因而，研究高稳定 输出的大功率微波电源是微波等离子体技术中的一项重要课题。 磁控管是获取大功率微波能的主要电力电子器件，其特性类似于处在正交电磁场 空间下的高频二极管。在实际应用中，由于磁控管的工作条件极为严格，若没有完善 的控制方案，细微的阴极电压或阳极电流波动，都将造成磁控管输出功率的很大变化。 实验结果表明，一旦磁控管进入正常工作状态后，若磁控管阈值电压不变，其阴 极电压可近似看做常数，因而，本文提出了一种基于单片机 ATmega16L 针对磁控管 阳极电流调节的控制方案，在对磁控管提供稳定输入电压的同时，通过对磁控管的阳 极电流进行检测采样、处理并以增量式 PI（比例-积分）调节算法计算出控制参数， 从而有效的调节磁场电流值的大小，最终达到微波电源稳定输出的目的。 设计中采用了 CK-619 型大功率磁控管，并对其特性及工作原理进行了介绍，同 时，又对各种常用技术方案的优劣之处进行了深入的分析，进而提出控制方案，并详 细的介绍了控制方案中各个功能电路部分的具体软硬件实现方法以及对各部分的调 试。 本文完成了对控制方案的分析、设计以及验证等一系列的工作，为获得大功率稳 定输出的微波电源提出了新的参考方案，相信在此基础上，通过对系统的不断改进， 将会获得稳定输出的大功率微波电源问题将可以得到更好的解决。 关键词：等离子体；微波电源；磁控管；单片机；PI 调节 I II Abstract The microwave plasma technology has an extremely broad range of applications, such as plasma enhanced chemical vapor deposition, plasma surface treatment, and plasma etching. Microwave source as the core of the microwave plasma device, its instability of the output power directly restricts the application and development of microwave plasma technology. Therefore, researching high-power and outputting high stabilize microwave source is an important topic in the microwave plasma technology. The magnetron is the main power electronic devices for high-p