《多晶硅生产工艺的发展》-毕业论文（设计）.doc

精品 PAGE 精品 毕业设计（论文） 课题名称： 多晶硅生产工艺的发展 设计时间： 系 部： 化 学 工 程 系 班 级： 应化 姓 名： 指导教师： 精品 PAGE 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc255379144 引言 PAGEREF _Toc255379144 \h 3 HYPERLINK \l _Toc255379145 一、多晶硅的现状及发展前景 PAGEREF _Toc255379145 \h 4 HYPERLINK \l _Toc255379146 1.1多晶硅的应用 PAGEREF _Toc255379146 \h 5 HYPERLINK \l _Toc255379147 1.2多晶硅在我国的发展 PAGEREF _Toc255379147 \h 5 HYPERLINK \l _Toc255379148 1.3 全球多晶硅的发展 PAGEREF _Toc255379148 \h 7 HYPERLINK \l _Toc255379149 二、多晶硅产业总体发展趋势 PAGEREF _Toc255379149 \h 10 HYPERLINK \l _Toc255379150 2.1多晶硅产业产能发展分析 PAGEREF _Toc255379150 \h 10 HYPERLINK \l _Toc255379151 2.2 多晶硅生产工艺发展趋势 PAGEREF _Toc255379151 \h 12 HYPERLINK \l _Toc255379152 2.2.1半导体用多晶硅技术及发展趋势 PAGEREF _Toc255379152 \h 12 HYPERLINK \l _Toc255379153 2.2.2 可再生能源光伏产业用多晶硅发展趋势 PAGEREF _Toc255379153 \h 13 HYPERLINK \l _Toc255379154 2.2.3 国内多晶硅产业技术发展趋势 PAGEREF _Toc255379154 \h 14 HYPERLINK \l _Toc255379155 三、多晶硅生产流程的发展 PAGEREF _Toc255379155 \h 14 HYPERLINK \l _Toc255379156 3.1 SiCl4 法制备第一代多晶硅 PAGEREF _Toc255379156 \h 15 HYPERLINK \l _Toc255379157 3.2 SiH2Cl2 法制备第二代多晶硅 PAGEREF _Toc255379157 \h 16 HYPERLINK \l _Toc255379158 3.3 SiHCl3法制备第三代多晶硅 PAGEREF _Toc255379158 \h 17 HYPERLINK \l _Toc255379159 3.4改良西门子法制备多晶硅 PAGEREF _Toc255379159 \h 18 HYPERLINK \l _Toc255379160 3.4.1 大型多晶棒节能型还原炉 PAGEREF _Toc255379160 \h 19 HYPERLINK \l _Toc255379161 3.4.2 导热油循环冷却还原炉工艺技术 PAGEREF _Toc255379161 \h 19 HYPERLINK \l _Toc255379162 3.4.3 还原尾气的干法回收技术 PAGEREF _Toc255379162 \h 19 HYPERLINK \l _Toc255379163 3.4.4 四氯化硅（SiCl4）氢化反应技术 PAGEREF _Toc255379163 \h 20 HYPERLINK \l _Toc255379164 3.5 SiHCl3 法的探讨 PAGEREF _Toc255379164 \h 21 HYPERLINK \l _Toc255379165 五、我国多晶硅光伏产业面临三大困境 PAGEREF _Toc255379165 \h 24 HYPERLINK \l _Toc255379166 5.1 金融危机使多晶硅产业急转直下 PAGEREF _Toc255379166 \h 24 HYPERLINK \l _Toc255379167 5.2 多晶硅光伏产业发展面临三大困境 PAGEREF _Toc255379167 \h 25 H