低温各向同性热解炭涂层结构和性能研究-机械设计及理论专业论文.docx

万方数据 万方数据 Dissertation Submitted to Hangzhou Dianzi University for the Degree of Master Research of Microstructure and Properties of Low Temperature Isotropic Pyrocarbon Coating Candidate： Li Weilong Supervisor： Prof. Zhang Jianhui March, 2016 杭州电子科技大学 学位论文原创性声明和使用授权说明 原创性声明 本人郑重声明： 所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取 得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写 过的作品或成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。 申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。 论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文使用授权说明 本人完全了解杭州电子科技大学关于保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻 读学位期间论文工作的知识产权单位属杭州电子科技大学。本人保证毕业离校后，发表论文 或使用论文工作成果时署名单位仍然为杭州电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印 件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印 或其它复制手段保存论文。（保密论文在解密后遵守此规定） 论文作者签名： 日期： 年 月 日 指导教师签名： 日期： 年 月 日 杭州电 杭州电子科技大学硕士学位论文 摘要 低温各向同性热解炭由于具有优异的生物相容性和良好的机械性能，特别是在沉入硅 后，还具有较高的强度以及耐磨性，被认为是制作人工机械瓣膜的最佳材料。目前，国内所 制备出来的低温各向同性热解炭涂层时常出现裂纹、分层、气泡等缺陷，这就制约着国内高 品质全炭人工心瓣的研制进程。低温各向同性热解炭在制备的过程中受沉积工艺参数影响较 大，在不同的沉积条件下，所获得的结构具有多样性，不同的结构所对应的性能也有较大的 差异。只有明确沉积条件与热解炭结构和性能的关系，才能够通过调整沉积工艺参数来沉积 出所需要的热解炭，因此研究在不同沉积条件下制备的热解炭结构和性能将有助于弄清低温 各向同性热解炭涂层产生缺陷的原因，这也是提高热解炭涂层质量和提高产品稳定性的关 键。 本文采用稳态流化床化学沉积（FBCVD）工艺，控制沉积温度1250℃，通过改变易于 控制且影响较大的工艺参数（丙烷浓度），保持其他工艺参数不变，制备出低温各向同性热 解炭材料。首先利用X射线衍射仪、扫描电镜、透射电镜、偏光显微镜对所制备样品的微观 结构进行多尺度表征，并利用高分辨的扫描电镜和透射电镜对不同丙烷浓度下制备的低温各 向同性热解炭样品的微观结构进行观察分析，研究了丙烷浓度对其微观结构的影响；然后利 用热膨胀仪、显微硬度计和能谱仪分别对低温各向同性热解炭涂层的热膨胀系数、显微硬度 和硅含量进行了测试，并分析了丙烷浓度对显微硬度及硅含量的影响；最后利用ANSYS有 限元软件对所建立的热解炭涂层模型进行模拟，分析了涂层内的残余应力状况。主要研究内 容和结果如下： （1）对低温各向同性热解炭微观结构进行多尺度表征。结果表明：所制备的低温各向 同性热解炭主要由直径大约为0.5 μm~1 μm的类球形颗粒无序的堆积而成，并且类球形颗粒 之间由片层状结构炭所连接，类球形颗粒内部分布着β-SiC晶格条纹和热解炭晶格条纹，而 颗粒球内部结构为精细的核-壳结构。 （2）研究了丙烷浓度对低温各向同性热解炭微观结构的影响。结果表明：随着丙烷浓 度的升高，石墨烯平面内的五元环缺陷逐渐增多，热解炭织构逐渐降低；丙烷浓度的升高也 会使断面形貌内的类球形颗粒逐渐增多，这与气相中多环芳烃(PAHs)形成的过饱和程度有 关；另外，气相中热解产物的浓度及 PAHs 形成的过饱和度影响着各向同性热解炭内类球形 颗粒的大小。 （3）对所制备的低温各向同性热解炭涂层的性能进行测试，并分析丙烷浓度对性能的 影响。结果表明：热解炭的热膨胀系数小于石墨基体热膨胀系数，并且复合体（热解炭涂层 /石墨基体）的热膨胀系数是涂层与基体相互制约的结果；所制备的热解炭涂层的显微硬度 值为2.396 GPa ~ 3.044 GPa，涂层内硅含量为10.7 wt% ~ 22.1 wt%；并且随着丙烷浓度的增 加，热解炭涂层内硅的含量逐渐减小，涂层的显微硬度也在逐渐降低。 （4）对热解炭涂层内的残余应力的性质及分布状况进行分析。结果表明：所建立的模 I 型较为合理，能够较为全面地模拟和分析热解炭涂层内的残余应力分布状况；在热解炭涂层 表面受拉应力作用，并且在涂层界面的边