API和传统干涉仪比较20071008.pptVIP

* * API和传统干涉仪比较 * * * API和传统干涉仪比较 * * * API和传统干涉仪比较 * * * * API和传统干涉仪比较 * * * API和传统干涉仪比较 * * * * 其他厂家干涉仪测量小角度原理 传统干涉仪测角时，激光束被角度干涉镜中包含的分光镜一分为二。一部分光束 (A1) 直接通过干涉镜，并从角度反射镜的某一半反射回激光头。另一条光束 (A2) 通过角度干涉镜的角度分光镜，传到角度反射镜的另一半，角度反射镜使光束通过干涉镜返回到激光头。 通过比较光束 A1 和 A2 之间的光程差获取Δl值，再通过正弦计算从而得到角度测量值α。 因在参与计算的参数中d是个固定的数值，而在实际测量过程中d却是一个变化的参数，主要影响d值变化的因素为： 1、角度反射镜受外界环境温度因素影响而产生变化 2、在测量过程中，受机床滚动角影响而发生变化 d d Δl α API干涉仪小角度测量原理 API干涉仪是应用PSD技术来实现小角度的测量的（如图），当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果导轨无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上；如果导轨有角度变化时，则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值，从而与焦距比较得出角度值。 基于以上原理可知API干涉仪测小角度时有以下特点： 1、因应用的是PSD技术，所以在测量角度过程中是不怕断光的 2、不受滚动角的影响，调整光路容易、精确 -x x y -y PSD精密光电位敏传感器 透镜 L d -d L 平行光入射时 非平行光入射时 五、API干涉仪独有技术 API XD激光干涉仪测滚动角 对角线的测量 只测量定位精度 不使用5D传感器只用一般反射镜 API干涉仪测量两导轨平行度 API干涉仪测量平板平面度 用5D/6D干涉仪测量转台 API干涉仪测量转台分度精度 API干涉仪测量转台分度精度 因API激光干涉仪测量小角度时是不怕断光的，所以其具有自准直仪功能，可配合多面棱体测数控转台转角精度 技术指标比较 序号 项目 API干涉仪 传统干涉仪 1 测量距离 单维：0~40m 0~40m 五、六维：0~40m 2 测量精度 标准型 1.长度：0.5ppm 2.直线度：?1.0?m 3.角度：?1.0 1.长度：?0.7ppm 2.直线度： 1)、短距离?0.5?m 轴线范围:(0.1－4.0m) 2)、长距离：?5?m 轴线范围:(1－30m) 3.角度：从1－30米精度为?0.1 ~ 20 高精型 1.长度：0.2ppm 2.直线度：?0.2?m 3.角度：?0.1 3 测量项目 1.位移定位精度 2.机床导轨的直线度（水平方向、 垂直方向） 3.运动工作台的角度偏差（偏摆 角、俯仰角及滚动角） 4.机床导轨的垂直度　 专利技术。 一次性调整便可测量完一根导轨的6项参数 （测量直线度及小角度过程中可断光） 所列项目需要分别逐一调整测量，并且每次调整光路和光学元件都不一样。 测量直线度及小角度过程中不可断光 不能测滚动 4 光路调整方式 两点对光，仅两束光调整 三点对光，光路复杂。 5 仪器的调整时间 一般需20分钟 每项需1个小时以上，效率很低 6 测量 结果 显示 一次性显示全部测量数据结果 每次只显示一项数据 7 完成一台机床的测量所需时间 共测21项误差参数共用2－3个小时 共测20项误差参数共用3天左右 8 包 装、重 量 全套共一箱重15kg，携带方便 全套共二箱重35kg，需要两个人运输。 9 特 点 1.API激光干涉仪用作光电准直仪，可以测 量旋转工作台的分度精度。 2.可单台干涉仪完成机床两导轨的平行度 无 结论: 由于API进入市场较晚，因此他必须要有较强的技术优势才能在市场竞争中站稳脚跟， API的突出的优势有以下几点： 1） 两点调光，容易调；一次安装测量21项精度指标，效率高。实际比较的结果：一台机床全项精度测量，熟练的测量人员使用HP和RENISHAW激光干涉仪，大约需要3天的时间；使用API 6D 仪器大约需要半天时间。 2）由于时间的缩短，使得机床检测数据的稳定性和重复再现性得以保证。 3）只有API可以单机完成两导轨间的平行度的测量。而HP和RENISHAW不能测量（需要用其他设备来实现，费时费力，准确度差）。而对于机床来讲，这是一个不容忽视的检验项目。 4） HP和RENISHAW的偏摆、俯仰角测量非常麻烦，时间非常长，尤其实现两轴间垂直度的测量，光路非常复杂；并且还不能测量滚动角，而却恰恰又是机床标准规定的测量项目。 5）体积小，重量轻，便于工厂现场装配测量和出差到用户现场测量使用。 6）API有着极其完善的技术团队作为您的售后服务保障。