环保型铜和铝表面的电化学抛光-材料科学与工程专业论文.docxVIP

摘 要 论 文 题 目: 环 保 型 铜 和 铝 表 面 的 电化 学 抛 光 学 科 专 业 : 材 料 物 理 与 化 学 研 究 生 : 周 宪 明 签 名 : }刘家叫 指 导 教 师 : 冯 拉 俊 教 授 签 名 : 丫瑜 诚 摘 要 电 化 学 抛 光 具 有 抛 光 效 果 好 、 效 率 高 等 特 点 ， 尤 其 对 于 形 状 复 杂 的 工 件 来 讲 ， 是 一 种 很 好 很 有 效 的 表 面 处 理 方 法 ，己在 工 业 上 得 到 了 广 泛 的 应 用 。然 而 现 有 铝 、铜 的 电 化 学 抛 光 液 存 在 抛 光 效 果 差 、成 本 高 、污 染 环 境 等 状 况 。针 对 这 一 实 际 ，本 文 采 用 电 化 学 极 化 的 方 法 ，通 过 正 交 试 验 对 铝 、铜 的 电 化 学 抛 光 液 及 工 艺 进 行 研 究 。成 功 研 制 出 了抛 光 效 果 好 、速 度 快 、 无 污 染 、低 成 本 的 电化 学 抛 光 液 配 方 及 抛 光 工 艺 参 数 。 利 用 S E M 、E D S 等 手 段 分 析 了试 样 抛 光 后 的 表 面 形 貌 及 元 素 组 成 ，通 过 显 微 硬 度 计 、恒 电 位 仪 等 设 备 分 析 抛 光 前 后 显 微 硬 度 和 耐 蚀 性 的 变 化 ，同 时 研 究 了 铝 、铜 电 化 学 抛 光 液 各 成 分 以 及 抛 光 工 艺 参 数 对 抛 光 效 果 的 影 响 。 通 过 试 验 获 得 铝 的 电 化 学 抛 光 最 佳 配 方 为 : 氢 氧 化 钠 16 9 几 、碳 酸 钠 100 叭 、磷 酸 三 钠 6 59 几 、 草 酸 馁 4 留L 、 酒 石 酸 钠 2 岁L 、 E D TA 一ZN a6叭 ， 抛 光 的 工 艺 参 数 为 : 电 流 密 度 44 刀 d m Z、抛 光 温 度 80 ℃ 、 抛 光 时 间 3 O m in 、 搅 拌 2 50 r/ m in 。 采 用 该 配 方 和 工 艺 参 数 进 行 电化 学 抛 光 后 的 铝 试 样 表 面 粗 糙 度 可 达 到 0 .05 林m ， 表 面 光 泽 度 达 到 88 .5% ， 表 面 显 微 硬 度 由抛 光 前 的 64. 5H V 降 低 至 36 .5H V ，抛 光 后 试 样 耐 蚀 性 增 强 ， 自腐 蚀 电 位 由一0. 8 V 升 高 到 一0. 7V ; 铜 的 电 化 学 抛 光 最 佳 配 方 为 : 磷 酸 85 0m l几 、 乙 醇 90 m l/ L 、 苯 并 三 氮 哩 6 g/ L 、 乳 酸 60 m 比 、 乙 酸 按 3 叭 ; 抛 光 的 工 艺 参 数 为 : 电 流 密 度 22 户“dm Z、 抛 光 温 度 40 ℃ 、 抛 光 时 间 20 m in 、搅 拌 2 5 0r/m in 。采 用 该 配 方 和 工 艺 参 数 进 行 电 化 学 抛 光 后 的 铜 试 样 表 面 粗 糙 度 达 到 0. 04 脚 ，表 面 光 泽 度 达 到 85 .1% ，显 微 硬 度 由抛 光 前 的 167 .5 H V 降 低 至 109 .7H v ， 抛 光 后 试 样 耐 蚀 性 增 强 ， 自腐 蚀 电 位 由 一o .05 v 升 高 至 0. 05 V 。 关 键 词 : 电 化 学 极 化 ; 粗 糙 度 ; 光 泽 度 ; 耐 蚀 性  A b stm C t T itle : E N V !R O N M E N T A L P R O T E C T E D E L E C T R O P O L IS H IN G O F C U A N D A L S U R F A C E M aj o r: M a te ria ls P h y s ic s a n d c h e m is try N a m e : X ia n m in g Z H O U 5ignature :逊 当 业 州 S u P e rv is o r: P ro f. L aj u n F E N G 5ign“，ure:辫 幸 八