《纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计》-毕业设计论文（学术).docVIP

PAGE I 青岛理工大学 毕 业 设 计（论 文） 题目 纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计 学生姓名： 学生学号： 指导教师： 机械工程 学院 机械设计制造及其自动化 专业2 班 2011年6月15日 毕业设计（论文）任务书 专业 机械设计制造及其自动化 班级 姓名 下发日期 2011-3-6 题目 纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计 专题 主 要 内 容 及 要 求 大面积纳米压印光刻机是一种高效、高精度、低成本制造微纳米结构精密装备，是生产高密度磁盘、高亮度LED、微流体器件、微光学器件的核心设备，针对步进重复纳米压印新型工作台对于对准和调平的功能不断提高的要求，开展纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计和数字化建模的研究。 课题的目的：了解纳米压印基本工艺，熟悉步进重复纳米压印的原理和工艺实现方法，完成纳米压印光刻机六自由度主动控制工作台的设计和数字化建模。 课题的内容和要求：工作台总体方案的设计，粗动工作台的设计，微动工作台的设，工作台定位检测，整个工作台的数字化建模。 主要技术参数 进 度 及 完 成 日 期 3 月7日 ~ 3月20日 毕业实习 3 月21日 ~ 4月3日 查阅资料、熟悉课题 4 月4日 ~ 4月17日 确定总体设计方案 4 月18日 ~ 5月1日 粗动工作台设计 5 月2日 ~ 5月22日 微动工作台的设计 5 月23日 ~ 5月29日 工作台定位检测和整个工作台的数字化建模 5 月30日 ~ 6月15日 撰写毕业论文、准备答辩 教学院长签字 日 期 教研室主任签字 日 期 指导教师签字 日 期 摘要 纳米压印光刻技术是一种全新的纳米图形复制方法，它利用紫外光硬化高分子的步进-闪光纳米压印技术突破了传统光刻工艺的分辨率极限，更适合于多层压印以及批量生产，使得步进-闪光压印技术迅速成为纳米刻印技术的另一个重要方法。 定位工作台是纳米压印光刻设备中的关键部件。在压印过程中它既能够保证模板－抗蚀剂－硅片结构间的接触均匀一致，并实现模板与承片台间的三个运动自由度，即沿Z轴的直线运动和绕X、Y轴的旋转运动（α和β），又可实现步进对准所需要的沿X、Y轴的直线运动和绕Z轴的旋转运动（θ）。现阶段单一自由度的工作台已经无法满足现阶段要求，所以需要高性能的超精密定位工作台技术支持，尤其是多自由度纳米级微定位工作台越来越受到重视。为此，我们研制了宏微位移可控精密六自由度工作台，采用粗精分离的原则，宏移部分保证大范围运动，微定位部分确保高的定位精度和分辨力。 在该设计中粗动位移系统要求实现的行程范围比较大，加之直线电机的价格比较昂贵。所以现代的制造系统一般采用伺服电机与精密丝杠传动的驱动方式。这样，既可以节约成本，又可以达到要求。在本次设计中的粗动位移系统就是该驱动方式。 压电陶瓷驱动器具有体积小、出力大、分辨率高和频响高的优点,并且不发热、无噪声、易于控制, 是理想的微定位器，也是现在制造系统中的关键部件之一。柔性铰链是一种新型的弹性导轨形式, 依靠材料的微小弹性变形来传递位移,具有结构紧凑、 无运动副间隙、 无机械摩擦等优点,是微定位系统中一种理想的导向机构。基于上述特点本次设计微动工作台采用一种以压电陶瓷作为驱动器, 柔性铰链作为导向机构的微定位机构，来实现工作台的六个自由度的微位移的调整。 关键词：工作台；精密加工；压电式驱动器；多自由度；柔性铰链 ABSTRACT Nano stamping photolithography technology is a new nano graphic method of using ultraviolet light, copy of polymer step-hardened flash nano stamping technology breaks through the traditional lithography process of the resolution limit, the more suitable for multi-layer printed and batch production, make step-flash stamping technology quickly become a nano marker technology of another important method. Positioning table is nano stamping photolithography key parts of the equipment. In stamping