高功率半导体激光泵阀表面改性技术及设备研究-光学工程专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□， 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 半导体激光器以其电光转换效率高、性能稳定、可靠性好、寿命长、体积小、 重量轻及易于与机器手臂结合等优点开拓了许多传统激光器无法涉及的领域，在工 业应用方面受到了国内外学者越来越多的关注。 立足于浙江温州当地传统优势泵阀产业目前所面临的产业瓶颈，本文采用理论 研究仿真和工艺实验探索验证的方法，从泵阀表面高功率半导体激光改性专用设备 的设计，激光、粉末和基体之间的互相作用关系及温度场仿真，激光加工过程中的 羽辉屏蔽效应，泵阀表面处理工艺参数的优化和应用过程中的现场缺陷分析及质量 控制方法这几方面进行了系统的分析和研究，所完成的工作如下： （1）研究了泵阀行业中的各类加工对象，设计出了泵阀表面高功率半导体激光 改性专用设备，并对 3KW 半导体激光器、光束整形、冷却系统、电源技术和五轴三 联动加工系统进行了分析。 （2）研究了泵阀表面处理过程中，激光、基体和粉末之间的相互作用关系，并 以此建立了半导体激光表面改性温度场模型，对激光功率 1KW，扫描速度 5mm/s； 激光功率 2KW，扫描速度 5mm/s；激光功率 2KW，扫描速度 10mm/s 这三组工艺参 数进行了仿真与分析，探索了激光功率、扫描速度对表面改性的影响。 （3）采用数值模拟与实验研究相结合的方法，构建粒子密度数学模型和 ABCD 光学矩阵，从吸收和折射两方面对光斑尺寸为 0.5mm*1mm 的半导体激光进行羽辉屏 蔽效应研究，发现在一定程度上，羽辉对激光的影响可等效于一个梯度折射率透镜， 使其焦点下移，光斑尺寸变大，能量密度衰减最大可达 90%以上。 （4）通过人工神经网络算法对工艺参数进行了初步优化，且验证得激光功率为 1.8KW，扫描速度为 6mm/s 时，阀板样品的表面硬度为 378.8HV，与预测值基本相 符，并对实验过程中的缺陷进行了分析，提出了相应的质量控制方法。 关键词：高功率半导体激光器 泵阀表面改性 羽辉特性 缺陷分析 II II Abstract With properties of high efficiency, stable performance, good reliability, long life, small size, light weight and easiness to combine with the robotic arm, high power diode laser has opened up many areas which conventional lasers can’t be involved in. So it has been more and more attention in the field of industrial application. This thesis is based on the research of the Industry bottlenecks which are faced by the traditional pump and valve industry in Wenzhou, Zhejiang province. U sing theoretical research and experiments，there have been several aspects studied：the design of high power diode laser equipment, the interaction between laser, powder and objects and the simulation of temperature field, the effect of plum