高反射膜损耗的理论研究-电子信息材料与元器件专业论文.docxVIP

I 摘 要 摘 要 激光陀螺仪作为飞行器惯导系统核心的惯性器件，在国防科学技术和国民经 济的许多领域中占有十分重要的地位，目前已被广泛用于导航、雷达和制导等领 域。作为陀螺仪的关键技术之一，闭锁阈值将影响到激光陀螺仪标度因数的线性 度和稳定度。而闭锁阈值取决于谐振光路中反射镜的损耗，在反射镜主要构成高 反射膜中，界面是主要的功能区。可以说，高反射膜的性能高低，直接影响到陀 螺仪的性能。因此，研究高反射膜的损耗具有重要的意义。本论文以实验结果为 导引，对高反膜的损耗做了理论和实验两方面的探讨。 首先，基于 X 射线反射技术，研究多层膜的界面特征。对测试得到的以硅和 玻璃为基底的样品的 XRR (X-ray reflectivity )曲线分别进行拟合，基本获得样品界 面的厚度、薄膜的密度、界面的粗糙度和扩散宽度等几何和物质成分的信息。从 对 XRR 分析结果看出，通过该方法可以研究界面几何和物质成分参数随工艺条件 的变化规律。 然后，采用分子动力学模拟，获得薄膜沉积过程中原子运动细节的微观特点。 结果表明：高能量的入射粒子将产生溅射效应，能穿入更深的基体表面，并对表 面原子产生影响，将使薄膜密度更致密。薄膜沉积时，将得到和靶材成分不一致 的膜层，而其中，O 的缺位是主要的缺陷。同时，高的基片温度将使得更多的 O 扩散到 Si 基片中且分布深度更深。在 470 K 和 570 K 范围内模拟通常的退火温度， 得到随退火温度的增加，薄膜中氧的扩散深度略有增加，但在界面处的浓度增加 不大的结果，且不同的热处理温度，不改变原子间的平均距离。 第三，根据第一性原理计算获得无定型结构的光学常数?[，?X与电磁波波长的 关系，得出材料的折射率与材料的密度有密切关系，提高材料的密度有利于提高 材料折射率的结果。 最后，采用第一性原理分子动力学模拟的方法研究了 Ar 在非晶态的 TiO2 和 SiO2 中的动力学行为。研究发现，TiO2 对 Ar 没有阻挡作用，而 SiO2 对 Ar 具有阻 挡作用。在 TiO2 中的 Ar 原子位置有明显的变化，发生了扩散现象；而在 SiO2 中 虽然 Ar 原子周围形成空隙，但 Ar 原子的位置却基本没有变化，在原位振动，只 是 发 生 微 小 的 扩 散 现 象 。 同 时 在 TiO2 薄 膜 中 ， 在 XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)的探测深度（100 ?左右）范围内，Ar 存在浓度梯度。 通过上面的研究，我们得出结论，在高反膜中，存在 O 的空位，同时有惰性 气体元素存在，因而其损耗机制可能是由于在等离子放电环境中，引入电荷，形 II 摘 要 成 O 的缺陷中心，产生对光的吸收。 关键字： 高反膜，损耗，XRR，分子动力学，XPS  PAGE 4 ABSTRACT ABSTRACT Laser gyro inertial navigation system, as the core aircraft inertial devices, plays a very important role in many areas of national defense science and technology and the national economy, and has been widely used for navigation, radar and guidance and other fields. As one of the key technologies of the gyroscope, lockout threshold will affect the linearity and stability of the laser gyro scale factor. However, the lockout threshold depends on the resonant optical path loss mirror, of which the main component is high reflection film where the interface plays a main role. We can say that the performance of highly reflective film will directly affect the gyro performance. Therefore, the study of loss of high-reflection film has important significance. Led by experimental results, this pap