基于微机电系统开关的四位移相器设计.PDFVIP

第 14 卷 第 1 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．14，No．1 2016 年 2 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Feb．，2016 文章编号：2095-4980(2016)01-0127-04 基于微机电系统开关的四位移相器设计 * 刘若林，鲍景富 ，黄裕霖，李昕熠 ( 电子科技大学 电子工程学院，四川 成都 611731) 摘 要 ：为了解决相控阵雷达小型化和低损耗的问题，设计了一个工作频率为2.2 GHz 的射频 微机电系统(MEMS) 四位开关线型移相器。首先分析了直接接触式MEMS