fecosinsinxn多层膜的高频软磁特性及其在螺线管微电中的应用.docx

优秀毕业论文 精品参考文献资料 目录摘要 目录 摘要 VIII Abstract．． ．． ． ．．．．． ． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．X 第一章绪论 1 1．1引言 l 1．2高频用软磁薄膜材料的研究现状 2 1．2．1软磁单层膜 2 1．2．2软磁多层膜 7 13微电感的研究现状 13 1-3．1二维栅型电感 13 1．3．2二维螺旋电感 15 1．3．3三维螺线管电感 20 1．4本论文的研究目的、思路及主要内容 28 1．4．1研究目的 28 1．4．2研究思路 ．28 1．4．3主要内容 ．29 参考文献 30 第二章理论基础 一50 2．1磁学相关理论 50 2．1．1静态磁学理论 ．．50 2．1．2动态磁学理论 57 2．2电感相关理论 63 参考文献 68 第三章Fe—co基高频软磁薄膜的制备和性能研究 70 3．1引言 70 3．2实验方法 ．．71 3．3 FeCo、FeCoSiN、lFeCoSiN／SiN，]。三种薄膜的性能研究 ．73 万方数据 3． 3．3．1薄膜晶体结构的)口RD表征 ．．73 3．3．2薄膜表面形貌的SEM表征 ．．74 3．3．3薄膜化学成分的XPS表征 ．75 3．3．4薄膜磁学和电学性质 ．76 3．3．5本节小结 ．78 3．4 siM绝缘层厚度对[FeCoSiN／SiNx]。多层膜结构和性能的影响 ．．78 3．4．1薄膜晶体结构的XRD表征 78 3．4．2薄膜表面形貌的AFM表征 79 3．4．3薄膜横截面形貌的TEM表征 80 3．4．4薄膜化学成分的XPS表征 8l 3．4．5薄膜电学性质 ．．83 3．4．6薄膜静态磁学性质 ．83 3．4．7薄膜动态磁学性质 ．86 3．4．8本节小结 87 3．5 FeCoSiN磁性层厚度和倾斜角度对[FeCoSiN／SiNx]。多层膜结构和性能的 影响 88 3．5．1薄膜晶体结构的XRD表征 ～88 3．5．2薄膜静态磁学性质和电学性质 89 3．5．3薄膜动态磁学性质 ．．92 3．5．4本节小结 ．．94 3．6总厚度对[FeCoSiN／SiNx]。多层膜结构和性能的影响 95 3．6．1薄膜晶体结构的XRD表征 。95 3．6．2薄膜电学性质 96 3．6．3薄膜静态磁学性质 ．．96 3．6．4薄膜动态磁学性质 99 3．6．5本节小结 100 3．7本章小结 1 01 参考文献 102 第四章集成[FeCoSiN／SiN，]。多层膜磁芯螺线管微电感性能的模拟 万方数据 与分析 105 与分析 105 4．1 HFSS有限元分析软件 1 05 4．2多层膜磁芯螺线管微电感性能的模拟结果分析 一107 4．2．1螺线管微电感结构参数对电感性能的影响 ．107 4．2．2磁芯材料对电感性能的影响 ．116 4-3本章小结 120 参考文献 122 第五章集成[FeCoSiN／SiN，]。多层膜磁芯螺线管微电感的制备与性 能研究 123 5．1螺线管微电感制备的工艺流程设计 123 5．2螺线管微电感加工的工艺流程 124 5．3螺线管微电感性能的测试与分析 141 5．3．1螺线管微电感性能的测试原理 141 5．3．2螺线管微电感性能的测试结果 145 5．4本章小结 150 参考文献 153 第六章总结与展望 1 55 6．1本论文的主要结论 ．．155 6．2下一步工作的展望 ．．156 附录一 1 58 攻读博士期间研究成果 ．1 62 一、研究论文 1 62 二、参加的学术会议 163 三、参加的产业调研 163 致谢 164 万方数据 Table Table of Contents Abstract in Chineses．．．．．．．．．．．．．．． ． ．． ．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．． ．．．．．．． ．VIII Abstract in English．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ． ．．．．．．．．X Chapter I Introduction．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．1 1．1 Introduction ． ． ．． ．．1 1．2 Rasearch Status of High Frequency Soft Magnetic Thin Hlms ． ．．．．．．．．．．．．2 1．2．