5304不锈钢磁控溅射TiN薄膜不同偏压时的结构和耐蚀性能.PDFVIP

5 304 不锈钢磁控溅射TiNx 薄膜 不同偏压时的结构和耐蚀性能 1 2 2 ， ， 曲 彬 张金林 贺春林 (1． ， 113122 ; 沈阳工学院基础教育学院 辽宁 抚顺 2 ． ， 110044 ) 沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室 辽宁 沈阳 DOI:10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2015.05.002 ［ ］ TiN ， TiN 摘 要 基体偏压是影响磁控溅射 x 薄膜结构和性能的关键因素 且 x 薄膜的结构与其耐蚀性有极大的 。 ， 304 关系 利用直流反应磁控溅射技术 通过改变基体偏压在 不锈钢表面制备了具有结构缺陷和不同化学计量