TMPCU-400300分子泵电源.PDFVIP

TMPCU-400/300 分子泵电源 使用说明书 2018.1 序言 感谢您使用北京四海祥云流体科技有限公司TMPCU-400/300 分子泵电源，公司前身为北 京北仪创新真空技术有限责任公司分子泵事业部。TMPCU-400/300 分子泵电源采用高质量的 组件、材料及最新的微型计算机技术制造而成。 本说明书提供给使用者安装、调试、操作、故障诊断、排除及日常维护分子泵电源的相 关注意事项。为了保证能够正确地安装及操作分子泵电源，请在装机和操作之前，详细阅读 本使用说明书，并请妥善保存及交由该机器的使用者。 为了操作者安全和机械设备能正常安全运行，请务必交由专业的或经过培训的操作人员 安装、调试、操作。本说明书中有“危险”、“警告”、“注意”等符号说明的地方请务必仔细 研读，若有任何疑问，请联系本公司，我们的专业人员会乐于为您服务。 以下为特别需要注意的事项： 1．实时配线，请务必关闭电源。拔出电源输入插头。电源输出配线更改后，必须重新检查 分子泵是否反转，如反转，请更换相位。 2．切断交流电源后，电源内仍有高压，请等待该电源显示面板指示灯熄灭后再对其操作。 3．绝对不可以自行改装该电源内的零件和线路。 4．机箱务必可靠接地，且接地标准须符合国家标准。 5．该分子泵电源用于驱动分子泵，不能将电源或电源内元件用于其他用途。 6．分子泵不能在低真空下运行。分子泵运行时处于高速运转状态，如果此时分子泵暴露于 低真空，可能会使分子泵损坏 （MDP 系列除外：MDP 可抗大气冲击），严重时可能会炸裂造成 人身伤害。所以分子泵正常运行时，请确保真空室不会突然漏气、玻璃规管不会突然碎裂等。 1．请勿对电源内部零部件进行耐压测试，因其内部使用半导体易受高压击穿而损坏。 2 ．电源内部元器件有CMOS IC 易受静电破坏，故在未做好静电防护措施前勿触摸内部器件。 3．即使电源处于停止态，分子泵电源的输出回路仍有可能带有高压。 4．只有合格的专业人员才可以安装、配线及修理保养机组。 1．请选择安全的区域来安装电源，防止高温及日光直射，避免湿气和水滴的泼溅。 2．请防止一般无关人员接近电源。 3.分子泵电源只能安装在本公司认可的场合，未经认可的使用环境可能导致火灾、气爆等一 些意想不到的危险发生。 4. 本公司有权根据产品现有功能对产品作出修改，如手册内容与实际产品不符，以实际产品 为准，恕不另行通知。 其他一些注意事项在说明书中有详细说明，也请务必遵守。 TMPCU-400/300 分子泵电源 目 录 1 用途及使用范围3 2 主要规格及技术参数3 3 结构说明4 3.1机箱结构4 3.2 内部结构4 4 安装条件4 5 使用方法5 5.1 内部控制5 5.2外部控制6 5.3 无源反馈输出6 5.4 追踪功能6 6 注意事项7 7 常见故障判断及排除7 8 随机附件及易损备件8 9 附表8 附表1：其他故障及处理方法8 附表2 ：分子泵电源电路原理示意图10 附件3 通讯协议 11 10、维修电话 11 2 TMPCU-400/300 分子泵电源 1 用途及使用范围 TMPCU-400/300 电源是FF、FFD、MDP 系列复合分子泵的驱动电源。其能自动平滑加减速， 实现无级调速。能在恶劣环境下可靠工作，对高压磁场、高频、射频等场合具有良好的抗干 扰能力，所需维护工作很少。 MDP 系列分子泵可抗大气冲击。 该电源具有多种保护功能，并能显示故障类型，使FF、FFD、MDP 系列复合分子泵在比 较恶劣的生产场合正常工作时具有安全保障，是FF、FFD、MDP 系列复合分子泵具有大抽速 的特性得以有效发挥的基本条件。