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惯性约束聚变实验用平面薄膜制备和其表面图形引入3.PDFVIP

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  • 2018-12-20 发布于湖北
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惯性约束聚变实验用平面薄膜制备和其表面图形引入3.PDF

    惯性约束聚变实验用平面薄膜的制备及其表面图形的引入3 周斌 王珏 沈军 徐平 吴广明 邓忠生 孙骐 艾琳 陈玲燕 同济大学波耳固体物理研究所 上海 韩 明 熊 斌 王跃林 中国科学院上海冶金研究所 传感器国家重点实验室 上海 摘 要 平面薄膜是 分解实验的重要靶型 以半导体技术结合重掺杂自截止腐蚀制备厚度为 的 平 ≤ƒ

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