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2018-12-21 发布于河北
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3-溅射技术

* 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜的约2000倍 2）景深提高约300倍 * X-射线分为：荧光x-射线（特征谱），与元素有关，用于分析成分，即电子探针功能连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX：用检测器限于分析11（Na）或5（B）号以上元素，灵敏度达0.1%，有时相近元素峰峰相互重叠。分析速度快 2）WDX：用检测器可分析11（Na）或5（B）号以上元素，灵敏度达0.01%。可分辨相近元素分析速度慢 * 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜的约2000倍 2）景深提高约300倍 * X-射线分为：荧光x-射线（特征谱），与元素有关，用于分析成分，即电子探针功能连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX：用检测器限于分析11（Na）或5（B）号以上元素，灵敏度达0.1%，有时相近元素峰峰相互重叠。分析速度快 2）WDX：用检测器可分析11（Na）或5（B）号以上元素，灵敏度达0.01%。可分辨相近元素分析速度慢 * 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜的约2000倍 2）景深提高约300倍 * * X-射线分为：荧光x-射线（特征谱），与元素有关，用于分析成分，即电子探针功能连续谱 X-射线的检测方法有二： 1）EDX：用检测器限于分析11（Na）或5（B）号以上元素，