热场发射扫描电子显微镜-浙江大学试验室与设备管理处.DOCVIP

PAGE 第PAGE 10页 编号： 编号： 浙江大学 购置(自制)单价40万元(含)以上大型仪器 设备可行性论证与审批表 仪器设备名称 热场发射扫描电子显微镜 申 请 单 位 材料学院(系) 新结构材料实验室（所） 申 请 人 蒋建中 联 系 电 话项 目 负 责 人 经费主管部门 填 表 日 期 2012.11.17 实验室与设备管理处制 2012年10月版 填 表 说 明 （1）阐述购置（自制）设备的理由及必要性，包括仪器的主要原理、功能及适用范围； （2）通过调研，记录我校同类型设备的现状，并对拟购置仪器设备的利用效率做出预测； （3）通过调研，以列表方式对各相关仪器公司不同型号的仪器进行比较，包括仪器性能、基本配置、附件情况、特色、售后服务和应用支持等方面的情况； （4）落实设备的操作管理人员、安装场地（防震、防磁、防噪降噪、超净等）及水电供应等保障条件，确保满足所购置设备对环境的要求； （5）购置单价≥40万元的设备，需由院系单位（或实验室处）组织5名以上具有高级职称的人员组成专家组并召开论证会，讨论拟购置仪器设备的可行性及必要性，填写论证会议情况及专家论证意见，由专家组成员签名。专家组成员可以是校内也可是校外相关领域的专家，但不可以是拟购置仪器设备的负责人、申请人、操作人。 （6）本表一式三份，实验室处、采购部门、申请人各一份。 仪器设备中文名称 热场发射扫描电子显微镜 申购数量 仪器设备外文名称 Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope 1 型 号 规 格 Supra 55 sapphire 单 价 估 计 人民币： 总 价 估 计 人民币： 主要技术指标 一、 主要技术指标 *1.1 分辨率： SE: 优于1.0 nm / 15kV 优于1.7 nm / 1kV (无模式更换下) *1.2 放大倍率：12-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准 *1.3 加速电压：0.02kV ～ 30 kV，加速电压范围内10V步进可调, 无需模式更换 1.4 电子枪：肖特基热场发射电子枪 1.5 电子束流：4 pA ～20nA *1.6 束流稳定性: 优于0.2%/h, 抗噪声性能优于1%/h *1.7 镜筒有无磁设计，能够保证铁磁材料的成像, 可对铁磁性材料进行高分辨成像。. *1.8 工作距离:1-50mm, 能谱仪分析工作距离可近到9mm以下 二．样品室及样品台 *2.1 样品室：宽度或者内部直径330mm, 高度270mm *2.2 样品台：五轴马达驱动样品台 移动最大范围指标：130mm（X方向），130mm（Y方向），50mm（Z方向）， -3-70°（倾斜），360°（旋转）样品台移动精度为90nm，重复精度为2um.。 2.3 控制样品台的样品台控制器,以及带旋钮操作控制面板. *2.4 抽屉式拉门 三．真空系统 全无油真空系统 3.1 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵 3.2 前级机械泵 *3.3 样品室真空度：高真空模式优于2×10-4 Pa, 电子枪真空度：10-7Pa数量级。 3.4 自动抽真空： 完全气动阀自动控制；真空表：潘宁规? 1, 皮拉尼规? 2； 主要技术指标 四．数字图像记录系统 4.1 图像扫描：最大3072×2304像素 4.2 图像显示：1280×1024像素，19” LCD显示器 4.3 图像记录：TIFF, BMP或JPEG 五．控制和数据处理系统 5.1 基于网络架构的数据传输系统 5.2 计算机系统Pentium 4 3.0GHz或奔腾D 2.8GHz 以上CPU；DDRII 1G内存；SATA-II 160G以上硬盘；独立显卡；DVD刻录机；19” LCD显示器 5.3 操作方式：键盘、鼠标 可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿。 六．标准应用软件 6.1 样品台图像导航功能 6.2 鼠标拖曳式放大及对中功能 七．工作条件 7.1 电源：220 V10 %， 50 Hz 7.2 环境条件：室温：10℃ ~ 30℃ 相对湿度：70 % 7.3 可连续运行 八. 主要附件及要求 *8.1电制冷能谱仪（牛津 Inca X-Max 20） *8.1.1探测器：圆形对称SDD芯片，独立封装FET场效应管，硅漂移电子制冷，20mm2有效面积，超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能；探测器自动伸缩，精确定位，无需手摇