薄膜光学模拟软体实习实习1单层膜反射率与膜厚关系实习1单层膜.DOCVIP

實習1 單層膜反射率與膜厚關係 實驗目的 配合ThinFilmView模擬軟體，分析討論MgF2單層膜的抗反射特性與膜厚關係。 實習軟體、儀器 ThinFilmView模擬軟體 實驗原理 可見光區的波長範圍定義，光色波長λ（nm)代表波長 紅（Red） 780～630 710 橙（Orange） 630～590 615 黃（Yellow） 590～560 585 綠（Green） 560～490 545 藍（Blue） 490～470 490 靛 (Indigo) 470～420 435 紫（Violet） 420～380 405 ，，入射角，S與P偏振光簡併，針對設計波長，以膜厚為變數，模擬不同折射率膜層對反射率R的影響，結果如下圖所示 (基板ns=1.52 )由此可知鍍膜折射率n 比基板折射率ns = 1.52小，才有抗反射效果不論是增反射或抗反射，極值均在的整數倍不論是增反射或抗反射，可以清楚看到均在的整數倍對增反射而言，前半週期，反射率遞增，後半週期，反射率遞減；對抗反射而言，前半週期，反射率遞減，後半週期，反射率遞增， ??????? 由前一章節可知，單層鍍膜的反射率為 ???可見欲達到最佳抗反射效果，則必須滿足 ??????????????????????????????????? ???若以空氣n0=1，基板n=1.52為例，鍍膜折射率 ??????? n = 1.233，這麼低的折射率材料，自然界中尚未找到；目前存在最低折射率的材料有 MgF2 : n=1.38Na3AlF6 : n=1.35 ???以前者為例，λ，其反射率光譜圖如下所示 ??? QWOT抗反射鍍膜的反射率為 ??????檢驗改鍍QWOT高折射率膜層的變化情形，假設 n = 2.35，QWOT抗反射鍍膜的反射率為??????? ???其反射率光譜圖如下所示 ? ???顯然鍍上高折射率膜層的結果是增反射而非抗反射。 ??????? 綜合以上討論結果，可驗證鍍HWOT半波長膜層，不論其折射率高低，對設計波長處的反射率並無影響，此時，反射率為 ???這就是所謂的無效層，此層鍍膜雖然在對設計波長處的反射率沒有影響，但是在擴寬反射率光譜範圍的應用中，卻有其不可或缺的作用。，，其反射率光譜圖如下所示 斜向入射 ??????? 入射角，此時抗反射的特性與垂直入射類似，唯S與P偏振效應更加明顯。由相厚度 ???可知當光斜向入射時，其反射率曲線的極值將移向短波長區，而且RSRP，n0=1，n1=1.38，nS=1.52，λ，如下圖所示 ??? ??????? 光斜向入射會有S與P兩種不同的偏振效應，因此以平均反射率的概念計算反射率 ，即 ??????????????????? ???其中：平均反射率 ，：S偏振光反射率，?????????：P偏振光反射率；例如：n0 = 1，n1 = 1.35，nS = 1.82，λ，結果如下所示 λλ0處：垂直入射，滿足零反射的條件，因此R = 0 射入射角，， ?????? ???????斜射極小值 : 入射角，反射率極小值發生在λ，如上圖所示，因此 ?????? 實驗步驟 1. 打開ThinFilmView模擬軟體，選按功能表列之 層數設定為1，按OK 2. 調整設計中心波長為550nm，注意相對應的反射率數值 3. 變更膜厚從0至1，間隔0.125，記錄相對應的反射率 膜厚Thickness 反射率% 0 0.125 0.25 1.81226 0.375 0.5 0.625 0.75 0.875 1 4. 完成步驟3的數據表格，以膜厚為x軸，反射率%為y軸作圖 5. 由步驟4的輸出結果，總結膜厚與反射率的關係 實驗結果 (1) (2) 變更膜厚從0至1，間隔0.125，記錄相對應的反射率 膜厚Thickness 反射率% 0 0.125 0.25 0.375 0.5 0.625 0.75 0.875 1 問題與討論 1. 基板上不鍍膜處理，反射率為何？膜厚為何時，等於不鍍膜處理的反射率？ 2. 使用MgF2材料，膜厚nd/λ=0.25，反射光顏色為何？ 3. 使用MgF2材料，膜厚nd/λ=0.5，反射率為何？以此解釋相厚度0.5，為何稱為無效層 4. 使用TiO2材料是高折射率或是低折射率材料？ 5. 改用單層TiO2材料，重做一次上述實習，並且總結膜厚與反射率的關係 參考資料 1. 薄膜光學與鍍膜技術，李正中，藝軒圖書 2. 薄膜光學，葉倍宏，崑山科技大學光電系 薄膜光學模擬軟體