张冬仙-上海光源.PDFVIP

大面积表面等离子激元 颜色滤波器研究 张冬仙 现代光学仪器国家重点实验室 浙江大学光电科学与工程学院 zhangdx@zju.edu.cn 2017年9月14 日 Group Members The group members The group is located at Building No.3 Yuquan Campus Zhejiang University Outline 1. 光热微驱动器的研制 (北京同步辐射LIGA线站，国家自然科学基金项目，浙江省 自然科学基金重点项目) 2 激光诱导三维微结构的热塑成型研究 (国家自然科学基金项目) 3. 基于自组装有序多孔模板的颜色调控研究 4. 基于等离子激元效应的超薄金属减色滤波器研究 (上海光源软X射线干涉光刻线站，973子课题项目，国家自 然科学基金项目，国家留学基金项目，国家重点研究计划 项目) 1. 光热微驱动器 采用激光作为外驱动源，无需导线连接，没有电 的干扰，可以无线遥控操作，易于集成和小型化， 结构简洁，驱动力大等优点。 1. 光热微驱动器 [1] C. Liu, D. X. Zhang, H. J. Zhang. “Dynamic characteristics of micro-optothermal expansion and optothermal microactuators”, Micro Nano Lett . 4, 9-15(2009). [2] D. X. Zhang, H. J. Zhang, C. Liu. “Theoretical and experimental study of optothermal expansion and optothermal microactuator”, Opt. Express 16, 13476-13485(2008). [3] Y. L. He, H. J. Zhang, D. X. Zhang. “Theoretical and experimental study of photo-thermal expansion using AFM”, J. Micromech. Microeng . 15, 1637-1640(2005). 光热微开关的光学显微视频 (200m ×500m) 采用4mW/2Hz 激光驱动 光热微开关的光学显微视频 (200m ×500m) 采用4mW/6Hz 激光驱动 2. 激光诱导三维微结构的热塑成型研究 Related Publications [1] L. Y. Wang, D. X. Zhang, H. J. Zhang. “Fabrication of micropillars by laser-induced thermoplastic method”, Appl. Phys. Lett . 97, 131905(2010). [2] L. Y. Wang, D. X. Zhang, H. J. Zhang.“Micro-fabrication and monitoring of three-dimensional microstructures based on laser-induced thermoplastic formation”, Microsc. Res. Techniq . 72, 717-722(2009). 3. 基于微纳结构多孔氧化铝的颜色调控研究 [1] X. L. Q. Wang, D. X. Zhang, H. J. Zhang. “Tuning color by pore-depth