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基于pci总线的光纤数据传输系统研究-机械电子工程专业论文
独创性声明
本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其它个人 或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已 在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。
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日期: 年 月 日 日期: 年 月 日
华中 科技 大学
华
中 科
技 大
学 硕
士 学
位 论
文
I
I
摘 要
光刻机是 IC 制造中最为核心也是最为复杂的装备,国家制定了长远的科技计划, 对光刻机进行研究,为了配合光刻机精密运动控制系统的研制,本文就应用于光刻机 运动控制系统辅助测试的光纤数据传输系统进行了研究和开发。系统通过高速光纤接 口从运动控制卡中接收数据,然后通过 PCI 总线将这些数据发送到 PC 中去,由 PC 对 数据进行分析和处理。
光纤数据传输系统由光纤接口、PCI 总线接口和用于控制和时序转换的可编程逻辑 控制器三个部分组成。光纤接口的物理链路部分使用光电转换模块进行光电转换,使 用 SERDES 进行收发数据的串并转换和接收数据提取与时钟恢复。PCI 总线使用专用 的接口芯片,将复杂的、难以处理的 PCI 总线时序转换成简单的、易于处理的本地总 线时序。FPGA 在光纤接口处进行数据编码解码和传输控制,实现光纤传输的链路层功 能,在 PCI 接口处对 PCI 专用芯片的本地总线的时序进行解析,同时进行整个系统的 时序转换和功能控制,完成整个系统的中断控制。
本文首先对基于 PCI 总线的光纤数据传输系统的方案进行确定,然后进行系统的原 理分析和硬件电路设计,接着进行可编程逻辑控制器件的程序开发,之后在 Windows 操作系统下进行 PCI 接口的驱动程序开发,最后对硬件板卡进行调试,对整个光纤数 据传输系统进行测试。
测试结果表明,光纤数据传输系统已经实现通过光纤接收运动控制卡的数据,然后 将数据通过 PCI 总线发送到 PC 中去,光纤传输速度为 1.25Gbit/s,24 小时没有误码, PCI 接口速度满足运动控制卡的数据传输要求。目前,系统板卡已经在十一五国家重大 专项项目系统中进行使用。
关键词:光纤传输、PCI 总线、FPGA、Windows 驱动程序
II
II
Abstract
Lithography machine is the most central and most complex equipment in integrated circuit manufacturing. The state has developed a long-term technology project for lithography research. In order to meet the development of lithography precision motion control system, a fiber optic data transmission system based on PCI local bus applied to the testing of the movement control system of the lithography machine is developmented in this paper. The system receives data from the high speed fiber optic interface of the motion control card, and then sends them to testing PC through the PCI local bus.
The optical fiber data transmission system developmented in this paper consists of fiber optical interface, PCI local bus interface and FPGA used in timing conversion and the control of the
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