传感器技术4-电容式传感器-中英对照.pptVIP

第4章 电容式传感器 Capacitance Type Sensors 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 电容式传感器(capacitance type sensors)是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。结构简单、分辨力高(high resolution)、可非接触测量(contactless measurement)，并能在高温、辐射(radiation)和强烈振动(strong vibration)等恶劣条件下工作，这是它的独特优点。随着集成电路(IC-Integrated Circuit)技术和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成为一种很有发展前途的传感器。 4.1 工作原理、结构及特性 由绝缘介质(insulation medium)分开的两个平行金属板组成的平板电容器(plate capacitor)，当忽略边缘效应(edge effect)影响时，其电容量(capacitance)与真空介电常数(permittivity of vacuum)ε0 (8.854×10－12F/m)、极板间介质的相对介电常数(relative permittivity)εr、极板的有效面积A以及两极板间的距离δ有关： ???????????? 若被测量的变化使式中δ、A、εr三个参量中任意一个发生变化时，都会引起电容量的变化，再通过测量电路就可转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型(variable electrode distance)、变面积型(variable area)和变介质型(variable medium)三种类型 。 4.1 工作原理、结构及特性 图4-1为这种传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为δ0 ，由式(4-1)可知其初始电容量C0为 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 略去高次项(higher order terms)，可得近似的线性关系 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 这种电容传感器有较多的结构型式，可以用来测量纸张、绝缘薄膜(insulation film)等的厚度，也可用来测量粮食(food)、纺织品(textile)、木材(wood)或煤(coal)等非导电固体物质(non conducting solid material)的湿度(humidity)。 图4-8为原理结构。图(a)中两平行极板固定不动，极距为δ0，相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。传感器的总电容量C为两个电容C1和C2的并联结果。由式(4-1) 4.1 工作原理、结构及特性 4.1 工作原理、结构及特性 4.2 问题及改进措施 1.优点(pros)： Ⅰ. 温度稳定性好(good temperature stability) 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 而电阻传感器有铜损(copper lose)等，易发热产生零漂(zero drifting)。 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 图中C为传感器电容，Rp为低频损耗(low frequency lose)并联电阻(parallel resistance)，它包含极板间漏电(electric leak)和介质损耗(medium lose) ；Rs为高湿、高温、高频激励(high frequency excitation)工作时的串联(series)损耗电阻，它包含导线、极板间和金属支座等损耗电阻；L为电容器及引线电感；Cp为寄生电容，克服其影响，是提高电容传感器实用性能的关键之一。可见，在实际应用中，特别在高频激励时，尤需考虑L的存在，会使传感器有效电容(effective capacitance)变化，从而引起传感器有效灵敏度(effective sensitivity)的改变 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 4.2 问题及改进措施 在设计电容式传感器时，适当选择材料及有关结构参数，可以满足温度误差补偿要