大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律.PDF

中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月 ２８ ４ ２０１７ ２ 大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律 李延强 兰红波 　 , , 青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室 青岛 ２６６０３３ : , . 摘要 针对大面积纳米压印脱模工艺 开展了揭开式脱模机理和规律的研究 基于界面黏附能理 , ; , 论 建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型 基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律 建立了气体辅 . , ( 助揭开式脱模临界脱模速度模型 利用ABAQUS工程数值模拟软件 分析得到纳米压印工艺参数 脱 、 、 ) . 模力 脱模角度 脱模速度 对揭开式脱模的影响规律 : ; ; ; 关键词 大面积纳米压印 揭开式脱模 脱模力 脱模速度 中图分类号: : / TN３０５ DOI１０．３９６９ ．issn．１００４１３２X．２０１７．０４．０１６ j MechanismandLawsofPeelＧoffDemoldin forLareＧareaNanoim rintLithorah g g p g py LIYanian　LANHonbo q g g , , Nanomanufacturin andNanoＧotoelectronicsLabQindaoTechnoloicalUniversit g p g g y , , QindaoShandon ２６６０３３ g g : AbstractThis aerinvestiatedthemechanism andinfluencin factorsof eeldemoldin for pp g g p g lareＧareananoim rintlithorah．Amodelestimatin theair ressureＧassisted eelＧoffdemoldin g p g py g p p g forceswasestabli