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放电等离子烧结系统 操作规程 Model:SPS-3.20MK-Ⅳ 李 晓 普 2010-03-26 一．SPS-3.20MK-Ⅳ放电等离子烧结系统简介 1.放电等离子烧结系统原理和特点 “放电等离子烧结”(Spark Plasma Sintering，简称SPS)又称“等离子活化烧结”(Plasma Etivated Sintering， 简称PAS) ，其过程是给一个承压导电模具加上可控的脉冲电流，脉冲电流通过模具，也通过样品本身。通 过样品及间隙的部分电流激活晶粒表面，击穿孔隙内残留气体，局部放电，促进晶粒间的局部接合，通过 模具的部分电流加热模具，给样品提供一个外在的加热源。其主要特点是利用体加热和表面活化，实现材 料的超快速致密化烧结。 1.1 SPS 系统的基本配置 如图1所示, 住友石炭矿业株式会社的SPS系统包括一个垂直单向加压装置和加压显示系统、一个特制 的带水冷却的通电装置和特制的直流脉冲烧结电源、一个水冷真空室和真空、空气、氩气气氛控制系统、 冷却水控制系统和温度测量系统、位置测量系统和位移及位移速率测量系统、各种内锁安全装置和所有这 些装置的中央控制操作面板。 图1 SPS系统的基本构型 1.2.SPS 系统的工作原理 传统的热压烧结主要是由通电产生的焦耳热和加压造成的塑性变形这两个因素来促使烧结过程的进 行。而SPS过程除了上述作用外, 在压实颗粒样品上施加了由特殊电源产生的直流脉冲电流，并有效地利 用了在粉体颗粒间放电所产生的自发热作用，在压实颗粒样品上施加脉冲电流产生了如图2所示的、在通 常热压烧结中没有的各种有利于烧结的现象 这里, 在SPS状态有一个非常重要的作用, 在粉体颗粒间高速升温后, 晶粒间结合处通过热扩散迅速 冷却, 施加脉冲电压使所加的能量可在观察烧结过程的同时高精度地加以控制, 电场的作用也因离子高速 迁移而造成高速扩散。 通过重复施加脉冲电压, 放电点局部高温源在压实颗粒间移动而布满整个样品, 这 就使样品均匀地发热。能使高能脉冲集中在晶粒结合处是SPS过程不同于其它烧结过程的一个主要特点。 1 SPS过程中, 当在晶粒间的空隙处放电时, 会瞬时产生高达几千度至一万度的局部高温, 这在晶粒表 面引起蒸发和熔化, 并在晶粒接触点形成“ 烧结颈” , 对金属而言, 即形成焊接态。由于热量立即从发热 中心传递到晶粒表面和向四周扩散, 因此所形成的“ 烧结颈”快速冷却，因颈部的蒸气压低于其它部位, 气相物质凝聚在颈部而达成物质的蒸发—凝固传递。与通常的烧结方法相比, SPS过程中蒸发—凝固的物质 传递要强得多, 这是过程的另一个特点。同时在SPS过程中, 晶粒表面容易活化, 通过表面扩散的物质传递 也得到了促进，晶粒受脉冲电流加热和垂直单向压力的作用, 体扩散、晶界扩散都得到加强, 加速了烧结 致密化的进程, 因此用比较低的温度和比较短的时间就可以得到高质量的烧结体。 图2 直流脉冲电压的作用 1.3 SPS 系统的技术参数 1.烧结温度：≤2000 ℃ 2.烧结压力：5KN～200KN 3.压头行程：250mm （打开高度300mm ） 4.压头直径：150mm -3 5.位移传感器精度：0.001mm 6.真空度：6 ×10 Pa 7. 电流输出：400～8000A 8. 电压输出：2～12V 1.4 放电等离子烧结的应用 由于独特的烧结机理，SPS技术具有升温速度快、烧