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扫描电子显微镜(SEM) 主要内容  电子束与固体样品作用时产生的信号  扫描电子显微镜的构造和工作原理  扫描电子显微镜的主要性能  表面形貌衬度原理及其应用  原子序数衬度原理及其应用  EDS能谱分析 电子束与固体样品作用时产生的信号 • 扫描电镜成像所用的 6种 物理信号是电子束轰 击固体样品而激发产 生的。具有一定能量 的电子，当其入射固 体样品时，将与样品 内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散 射过程,激发固体样品 产生多种物理信号。 入射电子轰击样品产生的物理信号 入射电子在样品中的扩展 一. 背散射电子 1. 产生：背散射电子是被固体样品中原子反弹回来的一部分 入射电子。 包括：弹性背散射电子——被样品中原子核反弹回来的入 射电子，能量基本没有损失，能量很高。 非弹性背散射电子——被样品中核外电子撞击后 产生非弹性散射的入射电子，方向和能量均发生改 变，经多次散射后仍能反弹出样品表面的入射电 子。 2. 特点：背散射电子来自样品表层几百纳米的深 度范围，其产额能随样品原子序数的增 大而增多。 3. 作用：不仅能做形貌分析，还可定性作成分分 析。 二. 二次电子 1. 产生：入射电子束轰击出来并离开样品表面的 样品中的核外电子。 2. 特点：⑴ 能量较低（50eV ）； ⑵ 一般在表层5~10nm深度范围内 发射出来，对样品表面形貌非常敏感。 3. 作用：样品表面形貌分析。 三. 吸收电子 1. 产生：入射电子多次非弹性散射后能量消失， 最后被样品吸收。 入射电子被样品吸收后也会产生电流强度。 逸出表面的背散射电子的电流强度 入射电子的电流强度= +二次电子电流强度 （无透射电子时 ） +吸收电子的电流强度 2. 特点：样品中原子序数较大的元素产生的背散射 电子的数目较多，相反，吸收电子的数量 就较少；反之亦然。因此，吸收电子也可 反映原子序数衬度，可进行定性微区成分 分析。 3. 作用：定性微区成分分析。 四. 透射电子 1. 产生：如果被分析的样品很薄，则有一部分入射 电子穿过薄样品而成为透射电子。此时， 背散射电子i +二次电子强度i 入射电子强度（i ）= +吸收电子i +透射电子i • 随着样品质量厚度增大，透 射系数下降，而吸收系数增 大；样品背散射系数和二次 电子发射系数的和也越大， 但达一定值时保持定值。 τ • 当样品厚度超过有效穿透厚 度后，透射系数等于零。 对于大块样品，同一部位的 吸收系数、背散射系数和二 次电子发射系数三者之间存 在互补关系。 • 由于二次电子信号强度与样 品原子序数没有确定的关系， 因此可以认为，如果样品微