西门子法钟罩炉内三氯氢硅氢还原CVD宏观动力.pdf

第 26 卷第 9 期 中国有色金属学报 2016 年 9 月 Volume 26 Number 9 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Sep. 2016 文章编号：1004-0609(2016)-09-2042-07 西门子法钟罩炉内三氯氢硅氢 还原 CVD 宏观动力学模型 吴 永 (银川能源学院，银川 750105) 摘 要：在已导出西门子法三氯氢硅氢还原生成 Si-CVD 过程本征动力学模型基础上，结合钟罩还原炉内气相物 料的基本流动特征和传递-反应-CVD 过程，采用反应工程学经典方法，对关键组分在圆柱状硅芯表面 CVD 层的 浓度分布进行分析，导出浓度分布微分方程(零阶贝塞尔方程)和积分方程(零阶贝塞尔函数) ，建立了 Si 的沉积速 率模型，即考虑 CVD 层浓度分布时的平均沉积厚度模型和沉积质量模型，忽略 CVD 层浓度分布时的平