一种基于多步法的高精密主轴回转误差分离算法-计量学报.PDF

第３９卷　第１期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３９，№ １ ２０１８年　１月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　Ｊａｎｕａｒｙ，２０１８ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１８．０１．０２ 一种基于多步法的高精密主轴回转误差分离算法 １ ２ １ ３ ２ 乔凌霄 ，　陈江宁 ，　陈文会 ，　张　丽 ，　田景志 （１西北工业大学 电子信息学院，陕西 西安７１００７２；　２西安轻工业钟表研究所有限公司，陕西 西安７１００６１； ３中航动力股份有限公司计量中心，陕西 西安７１００２１） 摘要：论述了多步法回转误差分离算法的技术原理，提出了频域混合补偿法误差分离算法，通过分析采集到的 误差数据中主轴回转误差、圆度误差等成分的频域特性，利用傅里叶变换得到误差的谐波分量，通过剔除、补偿等 方式分离偏心误差、圆度误差，从而得到主轴回转误差，该算法能很好地解决谐波抑制问题。通过圆度仪在工作现 场采集数据进行仿真分析，实验验证该方法的可行性，并用最小二乘法对结果进行评定。三、四、五步法得到的圆 度误差评定值与厂家给出的圆度误差４０ｎｍ间的差分别为１１８ｎｍ、１１３ｎｍ、１４５ｎｍ，而频域混合补偿法分离出的圆 度误差评定值为５４ｎｍ，与４０ｎｍ仅相差１４ｎｍ，可以看出频域混合补偿法对误差的分离效果明显优于多步法的误 差分离效果。 关键词：计量学；主轴回转误差；高精密主轴；误差分离；频域混合补偿法；谐波抑制 中图分类号：ＴＢ９２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１８）０１０００６０６ ＡＨｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎＳｐｉｎｄｌｅＥｒｒｏｒＳｅｐａｒａｔｉｏｎＡｌｇｏｒｉｔｈｍ ＢａｓｅｄｏｎＭｕｌｔｉｓｔｅｐＰｒｏｃｅｓｓ １ ２ １ ３ ２ ＱＩＡＯＬｉｎｇｘｉａｏ，　ＣＨＥＮＪｉａｎｇｎｉｎｇ，　ＣＨＥＮＷｅｎｈｕｉ，　ＺＨＡＮＧＬｉ，　ＴＩＡＮＪｉｎｇｚｈｉ （１ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ＮｏｒｔｈｗｅｓｔｅｒｎＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｘｉａｎ，Ｓｈａａｎｘｉ７１００７２，Ｃｈｉｎａ； ２ＸｉａｎＨｏｒｏｌｏｇｉｃａｌＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＬｉｇｈｔＩｎｄｕｓｔｒｉａｌＣｏ．Ｌｔｄ，Ｘｉａｎ，Ｓｈａａｎｘｉ７１００６１，Ｃｈｉｎａ； ３ＸｉａｎＡｅｒｏＥｎｇｉｎｅ（Ｇｒｏｕｐ）Ｃｏ．Ｌｔｄ，Ｘｉａｎ，Ｓｈａａｎｘｉ７１００７２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｄｉｓｃｏｕｒｓｅｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｍｕｌｔｉｓｔｅｐｒｏｔａｔｉｏｎｅｒｒｏｒｓｅｐａｒａｔｉｏｎａｌｇｏｒｉｔｈｍｔｅｃｈｎｉｑｕｅｉｓｄｅｓｃｒｉｂｅｄ．Ｔｈｅ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙｄｏｍａｉｎｍｉｘｉｎｇｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎｅｒｒｏｒｓｅｐａｒａｔｉｏｎａｌｇｏｒｉｔｈｍ ｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｂｙａｎａｌｙｚｉｎｇｔｈｅｆｒｅｑｕｅｎｃｙｄｏｍａｉｎ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｓｐｉｎｄｌｅｅｒｒｏｒ，ｒｏｕｎｄｎｅｓｓｅｒｒｏｒａｎｄｏｔｈｅｒｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｏｆｔｈｅｃｏｌｌｅｃｔｅｄｄａｔａ，ｕｓｉｎｇＦｏｕｒｉｅｒｔｒａｎｓｆｏｒｍｔｏｏｂｔａｉｎ ｈａｒｍｏｎｉｃｉｓｏｌａｔｅｄｅｃｃｅｎｔｒｉｃｏｆｅｒｒｏｒ，ｓｅｐａｒａｔｅｒｏｕｎｄｎｅｓｓｅｒｒｏｒｂｙｗａｙｏｆｃｕｌｌｉｎｇ，ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｎｇ，ｔｈｅｓｐｉｎｄｌｅｅｒｒｏｒｉｓ ｇｉｖｅｎ