三乙醇胺对羟基亚乙基二膦酸镀铜液的影响研究Influenceof.PDF

2011 年第69 卷 化 学 学 报 Vol. 69, 2011 第24 期, 2921～2928 ACTA CHIMICA SINICA No. 24, 2921～2928 ·研究论文· 三乙醇胺对羟基亚乙基二膦酸镀铜液的影响研究 郑精武a 周 杰a,b 郑 飚a 乔 梁a 姜力强*,a 张 诚a a ( 浙江工业大学化学工程与材料学院 杭州 310032) (b 浙江金洲管道工业有限公司 湖州 313000) 摘要 研究羟基亚乙基二膦酸(HEDPA)镀铜液中三乙醇胺(TEA)对铜还原和氧化过程的影响. 用Hull Cell 测试阴极电 流密度分布, 通过电位扫描、循环伏安和交流阻抗研究铜沉积的电化学行为, 通过镀液的吸光度测试和固体配合物的 红外光谱分析推断配位化合物的形式. 结果表明: TEA 的加入能够扩大HEDPA 镀铜体系的阴极允许电流密度, 对铜电 沉积有阻化作用, 促进铜阳极溶解, 并可抑制氢气的析出; 随着溶液中 TEA 浓度增加, 在玻碳电极上发生的铜还原过 程由电化学控制逐渐转变为扩散控制, 可获得结晶细小、表面平整的致密铜镀层. TEA 的加入, 主要是在HEDPA 镀铜 体系中形成CuTEA(OH)2 配位化合物, 并吸附在电极表面而影响电化学反应. 关键词 羟基亚乙基二膦酸(HEDPA); 三乙醇胺(TEA); 电沉积; 铜; 红外光谱 Influence of Triethanolamine on Copper Electrodeposition from 1-Hydroxyethylene-1,1-diphosphonic Acid Electrolyte Zheng, Jingwua Zhou, Jiea,b Zheng, Biaoa Qiao, Lianga Jiang, Liqiang*,a Zhang, Chenga a ( Department of Chemical and Materials Engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310032) (b Zhejiang Kingland Pipeline Industry Co., Ltd , Huzhou 313000) Abstract The effect of triethanolamine (TEA) on reduction and oxidation process of copper in 1-hydroxyethylene-1,1-diphosphonic acid (HEDPA) electrolyte was studied. The distribution of cathode current density was checked by using Hull Cell. Electroche